WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2000055573) SYSTEMES ET METHODES UTILISES POUR DEFINIR ET CORRIGER DES ERREURS CYCLIQUES AU COURS DE LA MESURE DE DISTANCES ET DE LA DISPERSION INTERFEROMETRIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/055573    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/007061
Date de publication : 21.09.2000 Date de dépôt international : 15.03.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.10.2000    
CIB :
G01B 9/02 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ZYGO CORPORATION [US/US]; 21 Laurel Brook Road, Middlefield, CT 06455-0448 (US) (Tous Sauf US).
HILL, Henry, A. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HILL, Henry, A.; (US)
Mandataire : PRAHL, Eric, L.; Fish & Richardson P.C., 225 Franklin Street, Boston, MA 02110-2804 (US)
Données relatives à la priorité :
09/268,619 15.03.1999 US
Titre (EN) SYSTEMS AND METHODS FOR CHARACTERIZING AND CORRECTING CYCLIC ERRORS IN DISTANCE MEASURING AND DISPERSION INTERFEROMETRY
(FR) SYSTEMES ET METHODES UTILISES POUR DEFINIR ET CORRIGER DES ERREURS CYCLIQUES AU COURS DE LA MESURE DE DISTANCES ET DE LA DISPERSION INTERFEROMETRIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The invention features interferometry systems that characterize cyclic errors. In many embodiments, the systems include a phase-shifting component (81), such as a phase shifter or frequency shifter, for introducing a variable and controlled phase between the reference and measurement beams of an interferometer (69). By analyzing the distance measurements of the interferometer (69) as a function of the introduced phase, an analyzer (27, 29) in the interferometry system can characterize the cyclic errors in the interferometer. Once the cyclic errors are characterized, the analyzer (27, 29) can directly correct the distance measurements to remove contributions from cyclic errors.
(FR)L'invention concerne des systèmes interférométriques capables de déterminer des erreurs cycliques. Dans de nombreux modes de réalisation, les systèmes comprennent un élément déphaseur (81), tel qu'un déphaseur ou un répartiteur de fréquence conçu pour introduire une variable et une phase de contrôle entre les faiseaux de référence et les faiseaux de mesure d'un interféromètre (69). Par l'analyse des mesures de distance d'un interféromètre (69) comme fonction de la phase introduite, un analyseur (27, 29), compris dans le système interférométrique, peut déterminer des erreurs cycliques dans l'interféromètre. Une fois les erreurs cycliques déterminées, l'analyseur (27, 29) peut corriger directement les mesures de distances pour supprimer les effets des erreurs cycliques.
États désignés : CN, JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)