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1. (WO2000053928) MACHINE A VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/053928    N° de la demande internationale :    PCT/JP2000/001292
Date de publication : 14.09.2000 Date de dépôt international : 03.03.2000
CIB :
F04D 19/04 (2006.01), F04D 25/00 (2006.01)
Déposants : OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP).
TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
HIRAYAMA, Masaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OHMI, Tadahiro; (JP).
HIRAYAMA, Masaki; (JP)
Mandataire : ITOH, Tadahiko; 32nd floor, Yebisu Garden Place Tower, 20-3, Ebisu 4-chome, Shibuya-ku, Tokyo 150-6032 (JP)
Données relatives à la priorité :
11/103038 05.03.1999 JP
Titre (EN) VACUUM DEVICE
(FR) MACHINE A VIDE
Abrégé : front page image
(EN)A vacuum device, comprising a plurality of vacuum containers having a gas inlet port and a gas outlet port, a gas feed system for leading a desired gas from the gas inlet port into the vacuum containers, and a gas exhaust system for maintaining the inside of the vacuum containers at a decompressed pressure, wherein the gas exhaust system further comprises a plurality of vacuum pumps connected in series in multiple stages, an outlet port pressure of a final-stage vacuum pump is generally the atmospheric pressure, and one final-stage vacuum pump is formed to exhaust gas from a plurality of previous-stage vacuum pumps.
(FR)Cette machine à vide comporte une pluralité de vases à vide pourvus d'un orifice d'entrée de gaz et d'un orifice de sortie de gaz. Un système d'introduction de gaz sert à introduire dans les vases à vide un gaz souhaité provenant de l'orifice d'entrée de gaz. Un système d'extraction de gaz entretient un vide partiel dans les vases à vide. En l'occurrence, le système d'extraction des gaz comprend en outre une pluralité de pompes à vide montées en série en plusieurs étages. La pression de l'orifice de sortie de la pompe à vide du dernier étage est généralement la pression atmosphérique. Enfin, une pompe à vide de dernier étage est configurée de façon à extraire le gaz provenant d'une pluralité de pompes à vide d'un étage inférieur.
États désignés : JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)