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1. (WO2000053822) SYSTEME DE TRANSFERT DE MICROPLAQUETTES ET PROCEDURE D'UTILISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/053822    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/006119
Date de publication : 14.09.2000 Date de dépôt international : 08.03.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    25.09.2000    
CIB :
C23C 16/54 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : GAMMA PRECISION TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 47971 Fremont Blvd., Fremont, CA 94538 (US)
Inventeurs : TOSHIMA, Masato; (US)
Mandataire : ROSE, Bernard, F.; Lyon & Lyon LLP, Suite 4700, 633 West Fifth Street, Los Angeles, CA 90071-2066 (US)
Données relatives à la priorité :
09/265,490 09.03.1999 US
Titre (EN) A WAFER TRANSFER SYSTEM AND METHODS FOR USING THE SAME
(FR) SYSTEME DE TRANSFERT DE MICROPLAQUETTES ET PROCEDURE D'UTILISATION
Abrégé : front page image
(EN)A wafer transfer system is described for transferring a wafer while at substantially the same time another wafer is being processed. The wafer transfer system comprises, in one embodiment, a transfer chamber (22) having a wafer transfer blade (60), a load lock chamber (20) coupled to the transfer chamber (22), a robot (26) for loading and unloading the wafer into the load lock chamber (20), and a slider coupled to the wafer transfer blade (60) for moving the wafer transfer blade (60) between the transfer chamber (22) and the load lock chamber (20). According to a preferred embodiment, the slider utilizes a magnetic coupling mechanism.
(FR)La présente invention concerne un système de transfert de microplaquette permettant de transférer une microplaquette sensiblement en même temps que le traitement d'une autre microplaquette. Selon une réalisation, le système de transfert de microplaquettes comprend une chambre de transfert (22) équipée d'une lame de transfert (60) de microplaquettes, une chambre de blocage de charge (20) couplée à la chambre de transfert (22), un robot chargé du chargement et déchargement de la microplaquette dans la chambre de blocage de charge (20), et un chariot couplé à la lame de transfert (60) de microplaquettes entre la chambre de transfert (22) et la chambre de blocage de charge (20). Selon un mode de réalisation préféré, le chariot utilise un mécanisme de couplage magnétique.
États désignés : AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)