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1. (WO2000053370) TRAITEMENT NON ABRASIF DE TAMPONS A POLIR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/053370    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/005941
Date de publication : 14.09.2000 Date de dépôt international : 07.03.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    04.10.2000    
CIB :
B24B 49/10 (2006.01), B24B 53/007 (2006.01), B24B 53/017 (2012.01), B26D 1/00 (2006.01), B26D 1/16 (2006.01), B26D 3/28 (2006.01), B26D 7/26 (2006.01)
Déposants : SPEEDFAM-IPEC CORPORATION [US/US]; 305 North 54th Street, Chandler, AZ 85226-2416 (US)
Inventeurs : FRUITMAN, Clinton, O.; (US).
MELONI, Mark; (US).
NATALICIO, John; (US)
Mandataire : FARMER, James, L.; Speedfam-Ipec Corporation, 305 North 54th Street, Chandler, AZ 85226-2416 (US)
Données relatives à la priorité :
09/264,067 08.03.1999 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR NON-ABRASIVE CONDITIONING OF POLISHING PADS
(FR) TRAITEMENT NON ABRASIF DE TAMPONS A POLIR
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus for resurfacing a polishing pad using non-abrasive techniques. These techniques include shaving, milling, or planing the upper working surface of the polishing pad using an edged cutting tool to alter the microtexture and micro-topology of the surface to produce a desired surface contour or planarity. This precise conditioning of the microscopic features of the polishing pad surface controls dishing in workpieces during polishing. A pad conditioning tool (700) is comprised of multiple cutters (710) with resharpenable or replaceable sharp edges (720) attached to a housing (730) that includes a bore (740) for receiving a spindle (742). The cutters are moveably mounted to the assembly via bearings (750) that allow the cutters (710) to rotate freely with respect to housing (730). The cutters (710) may also be geared to rotate about their own axis (770) under the effects of a drive motor. The cutters (710) each have a planar area (780) proximate to the cutting edges to allow for 'floating' or self-leveling of the cutters.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil permettant de resurfacer un tampon à polir par des techniques non abrasives. Ces techniques consistent notamment à araser, fraiser ou raboter la surface de travail supérieure d'un tampon à polir à l'aide d'un outil de coupe tranchant de façon à modifier la microtexture et la microtopologie de la surface pour produire le contour ou la planéité de surface désiré. Ce traitement précis des caractéristiques microscopiques de la surface du tampon à polir permet de contrôler le cintrage de pièces lors du polissage.
États désignés : DE, GB, JP, KR, SG.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)