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1. (WO2000052733) CANON D'ELECTRONS A EFFET SCHOTTKY ET A EMISSION DE CHAMPS AVEC INTENSITE ANGULAIRE ACCRUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/052733    N° de la demande internationale :    PCT/US2000/005440
Date de publication : 08.09.2000 Date de dépôt international : 03.03.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.10.2000    
CIB :
H01J 1/304 (2006.01), H01J 37/073 (2006.01)
Déposants : ETEC SYSTEMS, INC. [US/US]; 26460 Corporate Avenue, Hayward, CA 94545 (US)
Inventeurs : VENEKLASEN, Lee, H.; (US).
DEVORE, William, J.; (US).
GARCIA, Rudy, F.; (US)
Mandataire : BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th Floor, 12400 Wilshire Boulevard, Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
09/263,137 05.03.1999 US
Titre (EN) SCHOTTKY AND FIELD EMISSION ELECTRON GUNS WITH ENHANCED ANGULAR INTENSITY
(FR) CANON D'ELECTRONS A EFFET SCHOTTKY ET A EMISSION DE CHAMPS AVEC INTENSITE ANGULAIRE ACCRUE
Abrégé : front page image
(EN)An enhanced electron source in most respects similar to a standard cathode assembly for an electron gun includes an electron emitter (14) surrounded by a suppressor electrode (16), the emitted electrons passing through an extractor electrode (28). Additionally, the suppressor electrode includes a small ring shaped permanent magnet (36) surrounding the opening in the suppressor electrode through which the emitter tip protrudes. The resulting magnetic field is aligned with the beam axis, and includes a tail which forms a very short focal length magnetic lens immediately following the emitter tip. This magnetic field collimates the electron beam before it enters the downstream electrostatic gun lens, thus increasing the effective angular intensity of the cathode assembly. The aberrations of this collimating lens are very low so that its useful brightness is not reduced. Also the influence of guns lens aberrations is reduced because a smaller aperture angle in the gun lens may be used to obtain higher beam current.
(FR)La présente invention concerne une source d'électrons améliorée similaire à plusieurs égards à un ensemble cathode standard pour un canon à électrons. Cette source comprend un émetteur d'électrons (14) entouré d'une électrode antiparasites (16), les électrons émis traversant une électrode d'extraction (28). De plus, l'électrode antiparasites comprend un aimant permanent en forme de petite bague (36) entourant l'ouverture de l'électrode antiparasites par laquelle dépasse la pointe de l'émetteur. Le champ magnétique résultant est dans l'alignement de l'axe de faisceau, et comprend une partie terminale formant un objectif magnétique de courte longueur focale suivant immédiatement la pointe de l'émetteur. Ce champ magnétique collimate le faisceau à électrons avant qu'il n'entre dans l'objectif du canon électrostatique aval, augmentant ainsi l'intensité angulaire effective de l'ensemble cathode. En l'occurrence, les aberrations de cet objectif collimateur sont très faibles, si bien que sa luminosité utile n'est pas réduite. En outre, l'influence des aberrations de la lentille à canon est réduite car on peut utiliser un plus petit angle d'ouverture dans la lentille à canon pour obtenir un courant de faisceau plus fort.
États désignés : CA, IL, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)