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1. (WO2000052543) METHODE DE COMMANDE DE POSITIONNEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/052543    N° de la demande internationale :    PCT/JP2000/001246
Date de publication : 08.09.2000 Date de dépôt international : 02.03.2000
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.09.2000    
CIB :
G05B 5/01 (2006.01)
Déposants : KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI [JP/JP]; 2-1, Kurosaki-Shiroishi, Yahatanishi-ku, Kitakyushu-shi, Fukuoka 806-0004 (JP) (Tous Sauf US).
HONDA, Hideki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OGURO, Ryuichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HAO, Shuang-Hui [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HONDA, Hideki; (JP).
OGURO, Ryuichi; (JP).
HAO, Shuang-Hui; (JP)
Données relatives à la priorité :
11/55759 03.03.1999 JP
11/324184 15.11.1999 JP
Titre (EN) POSITIONING CONTROL METHOD
(FR) METHODE DE COMMANDE DE POSITIONNEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A positioning control method for suppressing vibration of a base by feeding back a compensation value of a pre-compensator having a motor transfer function (1) for causing a motor displacement (12) by the input of the sum of an input torque (13) and the product of a table propulsive power (10) multiplied by a reducing gear and orthogonal/polar coordinate transformation constant (14), a table transfer function (4) for causing the table propulsive power (10) by the product of the difference (11) between the output of the product of the motor displacement multiplied by a reducing gear and orthogonal/polar coordinate transformation constant (2) and a table displacement (8) multiplied by a table displacement/force transducing spring constant (3) and for outputting a table displacement (7) by the table propulsive power (10), and a base drive transfer function (5) for inputting the table propulsive power (10) and the power of the product of a base displacement (9) multiplied by a base displacement/power converting spring constant (6) so as to cause a base displacement (9), the pre-compensator being adapted to define a base vibration model for causing a table displacement (8) of the table on the base by the difference between the table displacement (7) and the base displacement (9).
(FR)Cette invention concerne une méthode de commande de positionnement permettant de supprimer les vibrations d'un socle en ré-introduisant une valeur de compensation donnée par un pré-compensateur. La fonction de transfert de moteur (1) commande un déplacement de moteur (12) par l'introduction de la somme du couple d'entrée (13) et le produit de la puissance propulsive (10) de la table par un pignon réducteur et une constante de transformation de coordonnées orthogonales/polaires (14). La fonction de transfert de table (10) commande la puissance de propulsion de la table (10) par la différence (11) entre le produit du déplacement et un pignon réducteur, et une constante de transformation de coordonnées orthogonales/polaires (2) et un déplacement de la table (8) multiplié par une constant déplacement de table/ ressort transducteur de force (3) et commande un déplacement de table (7) au moyen de la puissance de propulsion de table (10). La fonction de transfert d'entraînement de table (5) commande la puissance de propulsion de table (10) et la puissance obtenue en multipliant un déplacement de base (9) par une constante déplacement de base/ressort de conversion de puissance (6) de manière à obtenir un déplacement de base (9). Le pré-compensateur est conçu pour définir un modèle de vibration de base capable de commander un déplacement de table (8) de la table à partir de la différence entre le déplacement de table (7) et le déplacement de base (9) Figure 2 21 moteur 28 signal détecteur de position du moteur
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)