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1. (WO2000052417) APPAREIL ET PROCEDE DE MESURE DE DEPLACEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/052417    N° de la demande internationale :    PCT/JP1999/000927
Date de publication : 08.09.2000 Date de dépôt international : 26.02.1999
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    01.09.2000    
CIB :
G01B 11/06 (2006.01)
Déposants : ANRITSU CORPORATION [JP/JP]; 10-27, Minamiazabu 5-chome Minato-ku Tokyo 106-8570 (JP) (Tous Sauf US).
TANUMA, Atsuro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OHMORI, Kouji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAGATSUKA, Kazuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TSUJIMURA, Eiji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TANUMA, Atsuro; (JP).
OHMORI, Kouji; (JP).
NAGATSUKA, Kazuki; (JP).
TSUJIMURA, Eiji; (JP)
Mandataire : NISHIMURA, Norimitsu; Hogaku Building Room 3-A 19-14, Toranomon 1-chome Minato-ku Tokyo 105-0001 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING DISPLACEMENT
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE MESURE DE DEPLACEMENT
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus (l) for measuring displacement, adapted to measure displacement (recesses and projections) of a surface to be measured, with a high accuracy and at a high speed, wherein an object surface (30a) is scanned with the light applied thereto, whereby an amount of displacement of the object surface (30a) is measured in a non-contacting manner on the basis of a position of an imaging point (K) formed on a light receiving surface (9a) of a light receiving means (9), which comprises a lens array (7) which is provided with a plurality of condenser lenses (7a-7f) having uniform imaging properties around optical axes extending along the scanning direction of the light applied to the object surface, and which is adapted to converge the measuring light, and an imaging lens (8) having uniform imaging properties around optical axes and adapted to send the converged measuring light to the light receiving surface (9a) to form an imaging point (K) thereon, reflected light from a radiation point (P) being converged by the lens array (7), the converged reflected light being sent to the light receiving surface (9a) of the light receiving means (9) by the imaging lens (8) to form an image thereon, this enabling an image having a small aberration in the widthwise direction of the light receiving surface (9a) to be formed on the light receiving surface (9a), and displacement measurement with respect to the condition of the object surface (30a) to be conducted with a high accuracy.
(FR)L'invention concerne un appareil (1) de mesure de déplacement, adapté pour mesurer le déplacement (creux et bosse) d'une surface à mesurer, avec une grande précision et à vitesse élevée, dans lequel une surface (30a) d'objet est balayée par la lumière lui étant appliquée, de manière qu'une quantité de déplacement de la surface (30a) de l'objet soit mesurée sans contact sur la base d'une position d'un point d'imagerie (K) formé sur une surface photoréceptrice (9a) d'un moyen photorécepteur (9), lequel comprend un réseau (7) de lentilles doté d'une pluralité de lentilles de champ collectif (7a-7f) présentant des propriétés d'imagerie uniforme autour d'axes optiques s'étendant le long du sens de balayage de la lumière appliquée à la surface de l'objet, et lequel est adapté pour faire converger la lumière de mesure, et une lentille d'imagerie (8) présentant des propriétés d'imagerie uniforme autour d'axes optiques et adaptées pour envoyer la lumière de mesure convergée sur la surface photoréceptrice (9a) afin de former un point d'imagerie (K) sur celle-ci, la lumière réfléchie par un point de rayonnement (P) étant concentrée par le réseau (7) de lentilles, la lumière réfléchie concentrée étant envoyée à la surface photoréceptrice (9a) du moyen photorécepteur (9) par la lentille d'imagerie (8) pour former une image sur celle-ci, ce qui permet de former une image présentant peu d'aberration dans le sens de la largeur de la surface photoréceptrice (9a), sur la surface photoréceptrice (9a) et d'obtenir une mesure du déplacement par rapport à l'état de la surface (30a) de l'objet, à effectuer avec une grande précision.
États désignés : US.
Office européen des brevets (OEB) (DE, FR, GB, NL).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)