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1. WO2000036178 - PORTE-PIECES A SYSTEME PLANETAIRE ET PROCEDE DE TRAITEMENT DE SURFACE DE PIECES

Numéro de publication WO/2000/036178
Date de publication 22.06.2000
N° de la demande internationale PCT/CH1999/000602
Date du dépôt international 15.12.1999
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 22.05.2000
CIB
C23C 14/50 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22caractérisé par le procédé de revêtement
50Porte-substrat
CPC
C23C 14/505
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
50Substrate holders
505for rotation of the substrates
Déposants
  • UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT [LI]/[LI] (AllExceptUS)
  • ZAECH, Martin [CH]/[LI] (UsOnly)
  • KUNZ, Anton [DE]/[LI] (UsOnly)
Inventeurs
  • ZAECH, Martin
  • KUNZ, Anton
Mandataires
  • TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG
Données relatives à la priorité
2477/9815.12.1998CH
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) PLANETENSYSTEM-WERKSTÜCKTRÄGER UND VERFAHREN ZUR OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON WERKSTÜCKEN
(EN) PLANETARY SYSTEM WORKPIECE SUPPORT AND METHOD FOR SURFACE TREATMENT OF WORKPIECES
(FR) PORTE-PIECES A SYSTEME PLANETAIRE ET PROCEDE DE TRAITEMENT DE SURFACE DE PIECES
Abrégé
(DE)
In einer Vakuumbehandlungsanlage mit Planetensystem-Werkstückträger werden Werkstückträger einerseits um eine Sonnensystemachse (7) getrieben bewegt, weiter um eine Planetenachse (11) und drittens um eine Mondachse (19). Die Antriebsverbindung über Sonnensystem, Planetensystem, schliesslich zum Mondsystem ist im Betrieb ununterbrochen.
(EN)
Workpiece supports are driven and displaced around a sun system axis (7), a planetary axis (11) and a moon axis (19) in a vacuum processing plant that is provided with planetary system workpiece supports. The drive link via the sun system, planetary system and moon system is interrupted during operation.
(FR)
Selon l'invention, dans une installation de traitement sous vide pourvue d'un porte-pièces à système planétaire, les pièces sont premièrement entraînées autour d'un axe de système solaire (7), deuxièmement autour d'un axe planétaire (11) et troisièmement autour d'un axe lunaire (19). La relation d'entraînement entre le système solaire, le système planétaire et enfin le système lunaire est interrompue pendant le fonctionnement.
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