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1. (WO2000015420) DISPOSITIF PERMETTANT LE TRANSPORT DES SUBSTRATS EN FORME DE DISQUES RONDS D'UNE STATION D'ALIMENTATION JUSQU'A UNE STATION TERMINALE EN PASSANT PAR PLUSIEURS STATIONS INTERMEDIAIRES

Pub. No.:    WO/2000/015420    International Application No.:    PCT/EP1999/006504
Publication Date: 23 mars 2000 International Filing Date: 3 sept. 1999
IPC: B23Q 7/04
B23Q 39/04
B65G 47/86
G11B 7/26
G11B 23/00
Applicants: LEYBOLD SYSTEMS GMBH
FUEST, Dietmar
JANSEN, Erwin
WEIL, Alexander
Inventors: FUEST, Dietmar
JANSEN, Erwin
WEIL, Alexander
Title: DISPOSITIF PERMETTANT LE TRANSPORT DES SUBSTRATS EN FORME DE DISQUES RONDS D'UNE STATION D'ALIMENTATION JUSQU'A UNE STATION TERMINALE EN PASSANT PAR PLUSIEURS STATIONS INTERMEDIAIRES
Abstract:
Dans le cas d'un dispositif permettant de transporter des substrats (1, 1',...) en forme de disques ronds d'une station d'alimentation (5) jusqu'à une station terminale en passant par plusieurs stations intermédiaires (10, 11, 12, 13) à l'aide d'une première table rotative (3) dotée de pinces (4, 4',...) et à l'aide d'une deuxième table rotative dotée de broches de réception (8, 8',..., 9) comme station terminale. La première table rotative (3) exécute un mouvement de rotation autour de son axe de rotation (15), ce mouvement étant pendulaire et adapté au cycle d'usinage, et prend saisit ainsi les substrats (1, 1',...) pour les transporter et les céder. La table rotative (3) est dotée d'un élément de transport (6) qui est mobile dans le sens radial et dont le mouvement de soulèvement permet de transporter le substrat (1, 1',...) jusqu'à une broche réceptrice de substrat (9) placée au centre de la deuxième table rotative (7).