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1. (WO2000013220) SILICE NANOPOREUSE PRODUITE PAR DEPOT DE COURANTS COMBINES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/013220    N° de la demande internationale :    PCT/US1999/018333
Date de publication : 09.03.2000 Date de dépôt international : 13.08.1999
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    24.03.2000    
CIB :
H01L 21/314 (2006.01), H01L 21/316 (2006.01)
Déposants : ALLIEDSIGNAL INC. [US/US]; 101 Columbia Road P.O. Box 2245 Morristown, NJ 07962-2245 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : WU, Hui-Jung; (US).
DRAGE, James, S.; (US).
BRUNGARDT, Lisa, Beth; (US).
RAMOS, Teresa; (US).
SMITH, Douglas, M.; (US)
Mandataire : CRISS, Roger, H.; AlliedSignal Inc. (Law Dept.,Attn: R. Fels) 101 Columbia Road P.O. Box 2245 Morristown, NJ 07962-2245 (US)
Données relatives à la priorité :
09/140,855 27.08.1998 US
Titre (EN) NANOPOROUS SILICA VIA COMBINED STREAM DEPOSITION
(FR) SILICE NANOPOREUSE PRODUITE PAR DEPOT DE COURANTS COMBINES
Abrégé : front page image
(EN)A process for forming a nanoporous dielectric coating on a substrate. The process includes either (i) combining a stream of an alkoxysilane composition with a stream of a base containing catalyst composition to form a combined composition stream; immediately depositing the combined composition stream onto a surface of a substrate and exposing the combined composition to water (in either order or simultaneously); and curing the combined composition; or (ii) combining a stream of an alkoxysilane composition with a stream of water to form a combined composition stream; immediately depositing the combined composition stream onto a surface of a substrate; and curing the combined composition.
(FR)L'invention porte sur un procédé visant à former un revêtement diélectrique nanoporeux sur un substrat. Le procédé consiste à (i) combiner un courant d'une composition d'alcoxysilane avec un courant d'une composition de catalyseur contenant une base de façon à obtenir un courant de compositions combinées; déposer immédiatement le courant de compositions combinées sur une surface d'un substrat et exposer la composition combinée à l'eau (dans n'importe quel ordre ou simultanément); et durcir la composition combinée; ou (ii) combiner un courant d'une composition d'alcoxysilane avec un courant d'eau de façon à obtenir un courant de compositions combinées; déposer immédiatement le courant de compositions combinées sur une surface d'un substrat, et durcir la composition combinée.
États désignés : AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SL, SZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)