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1. (WO2000011532) ORGANE DE COMMANDE DE DEBIT POLYVALENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/011532    N° de la demande internationale :    PCT/JP1999/004311
Date de publication : 02.03.2000 Date de dépôt international : 09.08.1999
CIB :
G05D 7/06 (2006.01)
Déposants : FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 3-2, Itachibori 2-chome Nishi-ku Osaka-shi, Osaka 550-0012 (JP) (Tous Sauf US).
OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP).
TOKYO ELECTRON LTD. [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-0052 (JP) (Tous Sauf US).
KAGATSUME, Satoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIROSE, Jun [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NISHINO, Kouji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OHMI, Tadahiro; (JP).
KAGATSUME, Satoshi; (JP).
HIROSE, Jun; (JP).
NISHINO, Kouji; (JP)
Mandataire : SUGIMOTO, Takeo; Kitahama-Katano Bldg., 1-21, Kitahama 2-chome, Chuo-ku Osaka-shi, Osaka 541-0041 (JP)
Données relatives à la priorité :
10/236656 24.08.1998 JP
Titre (EN) VERSATILE FLOW RATE CONTROLLER
(FR) ORGANE DE COMMANDE DE DEBIT POLYVALENT
Abrégé : front page image
(EN)A versatile flow rate controller comprises an orifice (8) exchangeable depending on the required opening for a different fluid and a different flow rate range, a control valve (2) on the upstream side, a pressure detector (6) between the control valve (2) and the orifice (8), an arithmetic circuit (14) for calculating a flow rate as Qc=KP¿1? (K is a constant) from an upstream pressure P¿1? detected by the detector (6); an output circuit (16) for providing a flow-setting signal Qe, a converter circuit (18) for producing a flow rate signal Qf (Qf=kQc) by multiplying the calculated flow rate signal Qc by a factor k to change the full-scale flow rate, and a control circuit (20) for supplying a driver section (4) of the control valve (2) with a control signal Qy corresponding to the difference between the Qf and Qe.
(FR)L'invention concerne un organe de commande de débit polyvalent, qui comporte un orifice (8) pouvant être changé en fonction de l'ouverture requise pour un fluide différent et une plage de débits différente, une soupape (2) de commande située en amont, un détecteur (6) de pression situé entre la soupape (2) de commande et l'orifice (8), un circuit (14) arithmétique pour calculer un débit tel que Qc=KP¿1? (K étant une constante) à partir d'une pression en amont P¿1? détectée par le détecteur (6) ; un circuit (16) de sortie servant à fournir un signal de réglage de débit Qe, un circuit (18) de convertisseur produisant un signal de débit Qf (Qf=kQc) en multipliant le signal de débit calculé Qc par un facteur k en vue de modifier le débit à plein rendement, et un circuit (20) de commande servant à fournir à une section (4) de commande de la soupape (4) de commande un signal de commande Qy correspondant à la différence entre Qf et Qe.
États désignés : CN, KR, SG, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)