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1. (WO2000011531) PROCEDE DE DETECTION D'OBTURATION D'ORGANE DE COMMANDE DE DEBIT PAR PRESSION ET CAPTEUR UTILISE A CET EFFET
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2000/011531    N° de la demande internationale :    PCT/JP1999/004310
Date de publication : 02.03.2000 Date de dépôt international : 09.08.1999
CIB :
G05D 7/06 (2006.01)
Déposants : FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 3-2, Itachibori 2-chome Nishi-ku, Osaka-shi Osaka 550-0012 (JP) (Tous Sauf US).
OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP).
TOKYO ELECTRON LTD. [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku Tokyo 107-0052 (JP) (Tous Sauf US).
IIDA, Seiichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KAGATSUME, Satoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIROSE, Jun [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NISHINO, Kouji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IKEDA, Nobukazu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMAJI, Michio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
DOHI, Ryousuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YOSHIKAWA, Kazuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KOYOMOGI, Mutsunori [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
UNO, Tomio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IDETA, Eiji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HIROSE, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OHMI, Tadahiro; (JP).
IIDA, Seiichi; (JP).
KAGATSUME, Satoshi; (JP).
HIROSE, Jun; (JP).
NISHINO, Kouji; (JP).
IKEDA, Nobukazu; (JP).
YAMAJI, Michio; (JP).
DOHI, Ryousuke; (JP).
YOSHIKAWA, Kazuhiro; (JP).
KOYOMOGI, Mutsunori; (JP).
UNO, Tomio; (JP).
IDETA, Eiji; (JP).
HIROSE, Takashi; (JP)
Mandataire : SUGIMOTO, Takeo; Kitahama-Katano Building 1-12, Kitahama 2-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 541-0041 (JP)
Données relatives à la priorité :
10/236653 24.08.1998 JP
Titre (EN) METHOD FOR DETECTING PLUGGING OF PRESSURE FLOW-RATE CONTROLLER AND SENSOR USED THEREFOR
(FR) PROCEDE DE DETECTION D'OBTURATION D'ORGANE DE COMMANDE DE DEBIT PAR PRESSION ET CAPTEUR UTILISE A CET EFFET
Abrégé : front page image
(EN)An orifice plugging sensor for a flow-rate controller having an orifice, comprising a memory (M) in which is stored reference pressure decrease data Y(t) about the upstream-side pressure P¿1? measured when the flow rate is changed from a high preset flow rate Q¿SH? to a low preset flow rate Q¿SL? under the condition that an orifice (2) does not plug, a pressure sensor (14) for measuring pressure decrease data P(t) about the upstream-side pressure P¿1? measured when the flow rate is changed from the high preset flow rate Q¿SH? to the low preset flow rate Q¿SL? under the condition that the orifice is in an actual state, a central processing unit (CPU) for comparison operation of the pressure decrease data P(t) and the reference pressure decrease data Y(t), and an alarm circuit (46) for giving an alarm of a plugging when the pressure decrease data P(t) differs from the reference pressure decrease data by a predetermined degree.
(FR)L'invention concerne un capteur d'obturation d'orifice utile pour un organe de commande de débit comportant un orifice, qui comporte une mémoire (M) dans laquelle sont stockées des données Y(t) de baisse de pression de référence relatives à la pression P¿1? en amont mesurée lors d'un passage du débit, d'un débit élevé préétabli Q¿SH? à un débit bas préétabli Q¿SL? lorsque l'orifice (2) n'est pas obstrué; un capteur (14) de pression servant à mesurer des données P(t) de baisse de pression relatives à la pression P¿1? en amont mesurée lors d'un passage du débit, du débit élevé préétabli Q¿SH? au débit bas préétabli Q¿SL? lorsque l'orifice est en état de fonctionnement réel; une unité centrale de traitement (UCT) effectuant une opération de comparaison des données P(t) de baisse de pression et des données Y(t) de baisse de pression de référence; et un circuit (46) d'alarme servant à produire une alarme signalant une obturation quand les données P(t) de baisse de pression diffèrent des données de baisse de pression de référence selon une degré prédéterminé.
États désignés : CN, KR, SG, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)