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1. (WO1999053117) SYSTEME DE DEPOT DE FILM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/1999/053117 N° de la demande internationale : PCT/US1999/008153
Date de publication : 21.10.1999 Date de dépôt international : 14.04.1999
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 20.10.1999
CIB :
C23C 16/44 (2006.01) ,C23C 16/448 (2006.01) ,C23C 16/458 (2006.01) ,C23C 16/52 (2006.01) ,C23C 16/54 (2006.01)
Déposants : LOAN, James, F.[US/US]; US (UsOnly)
SALERNO, Jack, P.[US/US]; US (UsOnly)
CVD SYSTEMS, INC.[US/US]; 25 Esquire Road North Billerica, MA 01862, US (AllExceptUS)
Inventeurs : LOAN, James, F.; US
SALERNO, Jack, P.; US
Mandataire : HOOVER, Thomas, O. ; Hamilton, Brook, Smith & Reynolds, P.C. Two Militia Drive Lexington, MA 02421, US
Données relatives à la priorité :
09/060,00714.04.1998US
Titre (EN) FILM DEPOSITION SYSTEM
(FR) SYSTEME DE DEPOT DE FILM
Abrégé :
(EN) An apparatus for chemical vapor deposition includes a dispenser for dispensing a precursor to a vaporizer positioned within a vaporization chamber. A delivery conduit joins the vaporization with a process chamber. A flow meter is positioned within the delivery conduit for measuring the flow of precursor through the delivery conduit. A flow controller is likewise positioned within the delivery conduit for controlling the flow of precursor in response to the measured flow rate.
(FR) L'invention concerne un appareil pour dépôt chimique en phase vapeur, qui inclut un distributeur pour alimenter un précurseur dans un vaporisateur placé à l'intérieur d'un compartiment de vaporisation. Un conduit d'alimentation relie le compartiment de vaporisation à un compartiment de traitement. Un délbitmètre est placé à l'intérieur du conduit d'alimentation pour mesurer le débit du précurseur s'écoulant à travers le conduit d'alimentation. Un régulateur de débit est également placé à l'intérieur du conduit d'alimentation pour réguler le débit du précurseur en fonction du taux d'écoulement mesuré.
États désignés : AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SL, SZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)