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1. (WO1999052686) DISPOSITIF DE PRE-ALIGNEMENT DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/1999/052686 N° de la demande internationale : PCT/US1999/007928
Date de publication : 21.10.1999 Date de dépôt international : 14.04.1999
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 10.11.1999
CIB :
B25J 9/02 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : GENMARK AUTOMATION, INC.[US/US]; 310 Caribbean Drive Sunnyvale, CA 94089, US
Inventeurs : GENOV, Genco; null
Mandataire : KREBS, Robert, E.; Burns, Doane, Swecker & Mathis, L.L.P. P.O. Box 1404 Alexandria, VA 22313-1404, US
Données relatives à la priorité :
09/061,80616.04.1998US
Titre (EN) SUBSTRATE PREALIGNER
(FR) DISPOSITIF DE PRE-ALIGNEMENT DE SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(EN) A prealigner (16) with a first rotating member (14) having a second rotating member (15) mounted therein such that the axis of rotation of the second rotating member (15) is displaced or offset from the axis of rotation of the first rotating member (14). The second rotating member has a substrate holder (52) mounted therein such that the axis of rotation of the substrate holder (52) is displaced or offset from the axis of rotation of the second rotating member (15). When the offset distance between the axes of rotation of the first rotating member (14) and the second rotating member (15) is equal to the offset distance between the axes of rotation of the second rotating member (15) and the chuck (52) then the center of the chuck (52) can be moved to any location within a circle with a radius equal to the sum of the two offset distances. When the two offset distances are not equal, then the center of the chuck (52) can be moved to any location within a zone bounded by an outer circle having a radius equal to the sum of the two offset distances and an inner circle having a radius equal to the absolute value of the difference of the two offset distances.
(FR) L'invention concerne un dispositif (16) de pré-alignement pourvu d'un premier élément (14) rotatif sur lequel est monté un second élément (15) rotatif de manière que l'axe de rotation du second élément rotatif (15) soit déplacé ou décalé par rapport à l'axe de rotation du premier élément rotatif (14). Un porte substrat (52) est monté sur le second élément rotatif de manière que l'axe de rotation du porte substrat (52) soit déplacé ou décalé par rapport à l'axe de rotation du second élément rotatif (15). Lorsque l'écart entre les axes de rotation du premier élément rotatif (14) et du second élément rotatif (15) équivaut à l'écart entre les axes de rotation du second élément rotatif (15) et du plateau (52), le centre du plateau (52) peut être amené en n'importe quel point dans un cercle dont le rayon est égal à la somme des deux écarts. Lorsqu'il y a une différence entre les deux écarts, le centre du plateau (52) peut être amené en n'importe quel point à l'intérieur des limites d'une zone s'inscrivant dans un cercle extérieur d'un rayon égal à la valeur absolue de la différence entre les deux écarts.
États désignés : JP
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)