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1. (WO1999039407) SYSTEME DE CONTROLE DU FLUOR POUR LASERS EXCIMERE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1999/039407    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/026527
Date de publication : 05.08.1999 Date de dépôt international : 14.12.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    06.07.1999    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H01S 3/036 (2006.01), H01S 3/225 (2006.01)
Déposants : CYMER, INC. [US/US]; 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 (US) (Tous Sauf US).
ROKNI, Shahryar [US/US]; (US) (US Seulement).
WATSON, Tom, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
TAMMADGE, David, J. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ROKNI, Shahryar; (US).
WATSON, Tom, A.; (US).
TAMMADGE, David, J.; (US)
Mandataire : ROSS, John, R.; Cymer, Inc. Legal Dept. - MS/3-2A 16750 Via Del Campo Court San Diego, CA 92127-1712 (US)
Données relatives à la priorité :
09/016,525 30.01.1998 US
Titre (EN) FLUORINE CONTROL SYSTEM FOR EXCIMER LASERS
(FR) SYSTEME DE CONTROLE DU FLUOR POUR LASERS EXCIMERE
Abrégé : front page image
(EN)An excimer laser containing fluorine in which fluorine concentration is maintained continuously at desired predetermined levels. A real time fluorine monitor (62) provides a feedback signal to a fluorine flow control system (74) which provides continuous fluorine injection flow into the laser chamber (20) to precisely compensate for fluorine depletion and maintain fluorine concentration precisely at desired levels. In a preferred embodiment, a fluorine detector periodically measures the fluorine concentration in laser gas discharged from the laser in order to calibrate the fluorine monitor (62). In a second embodiment, the continuous inlet flow is from two gas sources, one (44) containing fluorine, a noble gas and a buffer gas, and the other (45) containing only the noble gas and the buffer gas. In another embodiment, the continuous inlet flow is from a gas source containing fluorine, a noble gas and a buffer gas and filtered gas discharged from the laser.
(FR)L'invention concerne un laser excimère contenant du fluor, dans lequel la concentration en fluor est maintenue en continu à des teneurs prédéterminées désirées. Une unité de contrôle du fluor en temps réel (62) fournit un signal de réaction à un système de contrôle du flux de fluor (74), lequel assure la circulation avec injection en continu de fluor dans la chambre laser (20), en vue de compenser de façon précise la perte en fluor et de maintenir la concentration en fluor, avec précision, aux teneurs désirées. Dans une forme d'exécution préférée, un détecteur de fluor mesure périodiquement la concentration en fluor dans le gaz laser provenant du laser, en vue d'étalonner l'unité de contrôle du fluor (62). Selon une deuxième forme d'exécution, le flux d'entrée continu provient de deux sources de gaz, l'une (44) contenant du fluor, un gaz noble et un gaz tampon, et l'autre (45) contenant uniquement le gaz noble et le gaz tampon. Suivant une autre forme d'exécution, le flux d'entrée continu provient d'une source gazeuse contenant du fluor, un gaz noble et un gaz tampon ainsi qu'un gaz filtré provenant du laser.
États désignés : AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)