WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO1999038200) POSTE DE CHARGEMENT D'UNE CASSETTE DE PLAQUETTES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1999/038200    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/027497
Date de publication : 29.07.1999 Date de dépôt international : 22.12.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    23.08.1999    
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : NERING, Eric, A.; (US).
PERLOV, Ilya; (US).
GANTVARG, Eugene; (US).
BELITSKY, Victor; (US)
Mandataire : BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP 7th floor 12400 Wilshire Boulevard Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
09/012,323 23.01.1998 US
Titre (EN) WAFER CASSETTE LOAD STATION
(FR) POSTE DE CHARGEMENT D'UNE CASSETTE DE PLAQUETTES
Abrégé : front page image
(EN)A pod loading station and method of operation are provided for enabling the transfer and introduction of wafers into a processing system from a wafer pod. The pod loading station generally includes a movable receiving platform for supporting a wafer pod and a movable pod door receiver having a pod door latch actuating mechanism disposed thereon. The movable platform supports a wafer pod, moves the wafer pod into engagement with the pod door receiver, and then retracts to enable the door supported by the door receiver to be removed from the opening of the pod. The pod door receiver then lowers the pod door below the pod to enable access to the pod opening.
(FR)L'invention concerne un poste de chargement à nacelle ainsi qu'un procédé permettant son fonctionnement, en vue d'effectuer le transfert et l'introduction de plaquettes dans un système de traitement à partir d'une nacelle à plaquettes. Le poste de chargement à nacelle comprend généralement une plate-forme réceptrice mobile pour supporter une nacelle à plaquettes et un récepteur à porte de nacelle mobile à mécanisme d'actionnement du verrouillage de ladite porte. La plate-forme mobile supporte une nacelle à plaquettes, déplace cette nacelle de façon qu'elle vienne en prise avec le récepteur à porte de nacelle, puis se rétracte afin que la porte supportée par le récepteur soit retirée de l'ouverture de la nacelle. Le récepteur à porte abaisse ensuite la porte de nacelle au-dessous de la nacelle afin de permettre l'accès à l'ouverture de cette nacelle.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)