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1. (WO1999037919) DISPOSITIF ET SYSTEME DE PIEGEAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1999/037919    N° de la demande internationale :    PCT/JP1999/000204
Date de publication : 29.07.1999 Date de dépôt international : 21.01.1999
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.06.1999    
CIB :
B01D 45/08 (2006.01), F04B 37/16 (2006.01)
Déposants : EBARA CORPORATION [JP/JP]; 11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku Tokyo 144-8510 (JP) (Tous Sauf US).
NOMURA, Norihiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NOJI, Nobuharo [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NOMURA, Norihiko; (JP).
NOJI, Nobuharo; (JP)
Mandataire : WATANABE, Isamu; Gowa Nishi-Shinjuku Building 4F 5-8, Nishi-Shinjuku 7-chome Shinjuku-ku Tokyo 160-0023 (JP)
Données relatives à la priorité :
10/25041 22.01.1998 JP
10/50194 16.02.1998 JP
Titre (EN) TRAP DEVICE AND TRAP SYSTEM
(FR) DISPOSITIF ET SYSTEME DE PIEGEAGE
Abrégé : front page image
(EN)A trap device capable of increasing a trap efficiency while fulfilling a conductance allowed by a vacuum chamber in a film forming treatment, increasing the reliability of operation accordingly by increasing the service life of a vacuum pump and protecting a fault eliminating device without affecting the performance of the vacuum pump, and also reducing an equipment cost and an operation cost, being disposed in an exhaust flow path (14) used for exhausting gas from a vacuum chamber (10) by the vacuum pump (12) and having a trap part (18) which traps, for removal, product contained in exhaust gas, wherein the trap part (18) is provided with a trap flow path comprising an upstream side flow path part (44) swelled from the center part to the outer side and a downstream side flow path part (42) directed from the outer side to the center part.
(FR)On décrit un dispositif de piégeage pouvant augmenter l'efficacité de piégeage et accomplir en même temps une conductance favorisée par une chambre à vide pendant un traitement de formation d'un film. Le dispositif de piégeage peut ainsi améliorer la fiabilité en exploitation, augmenter la durée de vie utile d'une pompe à vide et, ce faisant, protéger un dispositif d'élimination des défauts sans compromettre la performance de la pompe à vide. Il peut aussi réduire les coûts d'équipement et d'exploitation. Le dispositif de piégeage est disposé sur un chemin d'écoulement des gaz d'échappement (14) qu'utilise la pompe à vide pour évacuer les gaz de la chambre à vide (10), et comprend une partie piège (18) qui retient les produits contenus dans le gaz d'échappement pour les éliminer. La partie piège (18) comporte un chemin d'écoulement du piège présentant une partie d'écoulement latéral amont (44) bombée depuis la partie centrale jusqu'au côté extérieur, et une partie d'écoulement latéral aval (42) orienté du côté extérieur vers la partie centrale.
États désignés : KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)