WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO1999036944) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR SECHER UN OBJET
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1999/036944    N° de la demande internationale :    PCT/EP1998/008468
Date de publication : 22.07.1999 Date de dépôt international : 28.12.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    28.07.1999    
CIB :
F26B 1/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01)
Déposants : STEAG MICROTECH GMBH [DE/DE]; Carl-Benz-Strasse 10, D-72124 Pliezhausen (DE) (Tous Sauf US).
BÖTTINGER, Volker [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
NÄGELE, Eberhard [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SCHÜLE, Herbert [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
STORZ, Michael [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : BÖTTINGER, Volker; (DE).
NÄGELE, Eberhard; (DE).
SCHÜLE, Herbert; (DE).
STORZ, Michael; (DE)
Représentant
commun :
STEAG MICROTECH GMBH; c/o STEAG AG, Zentralbereich Recht und Patente, D-45117 Essen (DE)
Données relatives à la priorité :
198 00 949.6 13.01.1998 DE
Titre (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TROCKNEN EINES GEGENSTANDES
(EN) METHOD AND DEVICE FOR DRYING AN OBJECT
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR SECHER UN OBJET
Abrégé : front page image
(DE)Bei einem Verfahren und einer Vorrichtung zum Trocknen eines Gegenstandes wird die Trocknung dadurch verbessert, daß der Gegenstand mit einem Oberflächenladungen entfernenden Fluid in Kontakt gebracht wird.
(EN)The invention relates to a method and a device for drying an object. The aim of the invention is to dry said object more effectively. To this end, the object is brought into contact with a fluid which removes surface charges.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif pour sécher un objet. Pour permettre une amélioration du séchage, l'objet est mis en contact avec un fluide éliminant les charges superficielles.
États désignés : CN, JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)