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1. (WO1999036769) PROCEDE DE CARACTERISATION EN LIGNE DE TEXTURE PAR ULTRASONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1999/036769    N° de la demande internationale :    PCT/US1999/000091
Date de publication : 22.07.1999 Date de dépôt international : 05.01.1999
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    23.07.1999    
CIB :
G01N 29/11 (2006.01), G01N 29/22 (2006.01), G01N 29/24 (2006.01), G01N 29/34 (2006.01), G01N 29/40 (2006.01), G01N 29/44 (2006.01), G01S 7/52 (2006.01)
Déposants : TOSOH SMD, INC. [US/US]; 3600 Gantz Road, Grove City, OH 43123-1895 (US) (Tous Sauf US).
LEYBOVICH, Alexander [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LEYBOVICH, Alexander; (US)
Mandataire : PEACOCK, Bruce, E.; Biebel & French, 35 East First Street, Dayton, OH 45402 (US)
Données relatives à la priorité :
60/071,754 16.01.1998 US
Titre (EN) METHOD OF ULTRASONIC ON-LINE TEXTURE CHARACTERIZATION
(FR) PROCEDE DE CARACTERISATION EN LIGNE DE TEXTURE PAR ULTRASONS
Abrégé : front page image
(EN)A sputtering target (24) under test is irradiated with an ultrasonic pulse (20). The ultrasonic pulse (20) has a wavelength in the sputtering target (24) in the range of the average grain size for the target (24) under test. Backscattering echoes (28) are produced by the interaction of the pulse (20) with grain boundaries in the target (24) under test. The backscattering echoes (28) are detected and a representative electrical signal is generated. The number of occurrences of the backscattering echoes (28) having amplitudes within predetermined ranges are determined. A histogram of the number of occurrences versus amplitude is plotted. The histogram for the target (24) under test is compared with reference histograms for sputtering targets having known crystallographic orientations to determine the texture of the target (24) under test.
(FR)Selon le procédé de cette invention, on irradie une cible de pulvérisation (24) à l'essai au moyen d'ultrasons (20). Ces ultrasons (20) possèdent, dans la cible de pulvérisation, une longueur d'onde qui est comprise dans la fourchette des tailles de grain moyennes de la cible (24) à l'essai. Les échos rétrodiffusés (28) sont produits par interaction de l'ultrason (20) avec les joints de grain dans la cible (24) à l'essai. Ces échos rétrodiffusés (28) sont détectés et un signal électrique représentatif est généré. On détermine le nombre d'occurrences d'échos rétrodiffusés (28) ayant une amplitude comprise dans des fourchettes préétablies et l'on trace l'histogramme du nombre d'occurrences en fonction de l'amplitude. Puis on compare l'histogramme associé à la cible (24) à l'essai avec des histogrammes de référence associés à des cibles possédant des orientations cristallographiques connues de manière à apprécier la texture de la cible (24) à l'essai.
États désignés : JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)