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1. (WO1999034644) SYSTEME D'ALIMENTATION EN PUISSANCE ET DE COMMANDE POUR UN MANDRIN DE PIECE A TRAVAILLER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1999/034644    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/023725
Date de publication : 08.07.1999 Date de dépôt international : 09.11.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    29.07.1999    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : TEMPTRONIC CORPORATION [US/US]; 55 Chapel Street Newton, MA 02158 (US)
Inventeurs : GETCHEL, Paul, A.; (US).
LYDEN, Henry, A.; (US).
MIFFITT, Donald, C.; (US)
Mandataire : MILLS, Steven, M.; Samuels, Gauthier & Stevens LLP Suite 3300 225 Franklin Street Boston, MA 02110 (US)
Données relatives à la priorité :
09/001,927 31.12.1997 US
Titre (EN) POWER AND CONTROL SYSTEM FOR A WORKPIECE CHUCK
(FR) SYSTEME D'ALIMENTATION EN PUISSANCE ET DE COMMANDE POUR UN MANDRIN DE PIECE A TRAVAILLER
Abrégé : front page image
(EN)A system for and method of controlling the temperature of a flat workpiece such as a semiconductor wafer are disclosed. The workpiece is mounted on a workpiece chuck (10) which is mounted over a base (48) between the chuck and a host machine such as a wafer prober used to test integrated circuits on a wafer. The chuck includes an upper portion on which the workpiece is mounted. The temperature of the upper portion of the chuck is controlled to control the temperature of the workpiece. The temperature of the base (48) is controlled to reduce the amount of heat flow between the chuck (10) and the host machine. A power and control system includes a switching power supply which provides power to system components including heaters in the chuck used to heat the workpiece. A series of filters (206, 217, 218) removes electrical noise generated by the switching power supply such that low-noise operation is realized.
(FR)On décrit un système et un procédé qui permettent de réguler la température d'une pièce à travailler plate telle qu'une tranche de semi-conducteur. La pièce à travailler est montée sur un mandrin associé (10) qui est lui-même monté sur une base (48) entre le mandrin et une machine hôte telle qu'un testeur de tranche utilisé pour tester les circuits intégrés situés sur une tranche. Le mandrin comporte une partie supérieure sur laquelle est montée la pièce à travailler. La température de la partie supérieure du mandrin est régulée de manière à contrôler la température de la pièce à travailler. La température de la base (48) est régulée pour réduire la quantité de flux de chaleur entre le mandrin (10) et la machine hôte. Un système d'alimentation en puissance et de commande comprend une alimentation à découpage qui alimente en puissance des éléments du système tels que des dispositifs de chauffe situés dans le mandrin qui servent à chauffer la pièce à travailler. Une série de filtres (206, 217, 218) éliminent le bruit d'origine électronique généré par l'alimentation à découpage pour que le travail s'effectue dans des conditions de bruit faible.
États désignés : DE, JP.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)