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1. (WO1999034398) INSTALLATION DE TRAITEMENT SOUS VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1999/034398    N° de la demande internationale :    PCT/CH1998/000548
Date de publication : 08.07.1999 Date de dépôt international : 22.12.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    19.06.1999    
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT [LI/LI]; FL-9496 Balzers (LI) (Tous Sauf US).
MULLIS, Felix [CH/CH]; (CH) (US Seulement)
Inventeurs : MULLIS, Felix; (CH)
Mandataire : TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG; Siewerdtstrasse 95, CH-8050 Zürich (CH)
Données relatives à la priorité :
2958/97 23.12.1997 CH
Titre (DE) VAKUUMBEHANDLUNGSANLAGE
(EN) VACUUM TREATMENT SYSTEM
(FR) INSTALLATION DE TRAITEMENT SOUS VIDE
Abrégé : front page image
(DE)In einer Vakuumbehandlungskammer (1), innerhalb welcher ein Teil (9) vorgesehen ist, der auf ein vom Anlage-Bezugspotential ($g(f)¿0?) um mindestens [± 12] V abweichendes Potential ($g(f)¿9?) gelegt ist, an welchem Teil ein Sensor und/oder ein Stellglied (11) angeordnet ist, weiter mit einer Elektronikeinheit (13), die mit dem Sensor und/oder Stellglied verbunden ist, wird unter anderem die Signalverarbeitung an der Einheit (13) dadurch wesentlich vereinfacht, dass die Elektronikeinheit (13) auf dem Potential ($g(f)¿9?) des erwähnten Teils (9) als Bezugspotential betrieben wird.
(EN)The invention relates to a vacuum treatment system in which a part (9) is provided inside a vacuum treatment chamber (1). A potential ($g(f)¿9?) which deviates from the system reference potential ($g(f)¿0?) by approximately at least [± 12] V is applied to said part. A sensor and/or an actuator (11) is/are arranged on said part. In addition, the invention comprises an electronic unit (13) which is connected to the sensor and/or actuator. Processing signals on the unit (13) is considerably simplified in that the electronic unit (13) is operated as a reference potential on the potential ($g(f)¿9?) of said part (9).
(FR)Selon l'invention, une chambre de traitement sous vide (1) présente une partie (9) dont le potentiel ($g(f)¿9?) s'écarte d'au moins [± 12] V par rapport à un potentiel de référence ($g(f)¿0?) de l'installation. Un détecteur et/ou un élément de régulation (11) est relié à ladite partie. L'installation de traitement sous vide selon l'invention présente également une unité électronique (13) raccordée au détecteur et/ou à l'élément de régulation. L'invention vise à simplifier considérablement le traitement des signaux au niveau de l'unité (13). A cet effet, l'unité électronique (13) fonctionne avec le potentiel ($g(f)¿9?) de ladite pièce (9) comme potentiel de référence.
États désignés : DE, JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)