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1. (WO1999034386) SYSTEME DE MICRO-PHOTOLUMINESCENCE A FIBRES OPTIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1999/034386    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/022017
Date de publication : 08.07.1999 Date de dépôt international : 19.10.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    02.06.1999    
CIB :
G01J 1/58 (2006.01), G01N 21/64 (2006.01), G01R 31/26 (2006.01), G01R 31/265 (2006.01)
Déposants : TELCORDIA TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 445 South Street Morristown, NJ 07960-6438 (US)
Inventeurs : BANERJEE, Sonali; (US).
ZAH, Chung-en; (US)
Mandataire : GIORDANO, Joseph; c/o International Coordinator Telcordia Technologies, Inc. 445 South Street 1G112R Morristown, NJ 07960-6438 (US)
Données relatives à la priorité :
60/070,261 31.12.1997 US
Titre (EN) FIBER-OPTICS BASED MICRO-PHOTOLUMINESCENCE SYSTEM
(FR) SYSTEME DE MICRO-PHOTOLUMINESCENCE A FIBRES OPTIQUES
Abrégé : front page image
(EN)Spatially resolved photoluminescence apparatus (100) is used for the non-destructive characterization of a semiconductor sample (101). Photoluminescence excitation from a diode laser (110) is transmitted through a dichroic coupler (120) and in turn over a fiber to a fiber collimator (130) wherein the laser light is collimated into a pump beam prior to entering an air path. The air path is composed primarily of an objective lens (140). The objective lens (140) focuses the pump beam on the sample surface (101). The photoluminescence signal emitted by the sample travels the same path but in the opposite direction as the pump beam and is collected by the same fiber as a reflected signal. The dichroic fiber coupler (120) is used to separate the return signal from the pump beam with a low insertion loss for each beam. The return photoluminescence signal is fed to an optical spectrum analyser (160) using a single mode fiber connected to the coupler. The sample is placed on a rotational stage (150) capable of x, y, and z movement under computer control.
(FR)La présente invention concerne un appareil de photoluminescence à résolution spatiale (100) utilisé pour caractériser de façon non destructive un échantillon de semiconducteur (101). Une diode laser (110) transmet une excitation de photoluminescence via un coupleur dichroïque (120), et ensuite via une fibre, à un collimateur de fibre (130) dans lequel la lumière laser est collimatée en un faisceau de pompage avant d'entrer dans une voie aérienne. La voie aérienne est composée essentiellement d'un objectif (140) qui focalise le faisceau de pompage sur la surface de l'échantillon (101). Le signal de photoluminescence émis par l'échantillon suit la même voie que le faisceau de pompage mais dans la direction opposée et il est recueilli par la même fibre que le signal réfléchi. Le coupleur de fibre dichroïque (120) est utilisé pour séparer le signal de retour du faisceau de pompage avec un faible affaiblissement d'insertion pour chaque faisceau. Le signal de photoluminescence de retour est appliqué à un analyseur de spectre optique (160) via une fibre monomode reliée au coupleur. L'échantillon est placé sur une platine rotative capable d'effectuer un mouvement dans les plans x, y et z sous la commande d'un ordinateur.
États désignés : CA, JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)