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1. (WO1999034257) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT DOTE DE TROIS SYSTEMES DE BOBINAGE DONT LES AXES DEFINISSENT DES ANGLES DE 120° ENTRE EUX, ET DISPOSITIF LITHOGRAPHIQUE COMPRENANT UN TEL DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1999/034257    N° de la demande internationale :    PCT/IB1998/001687
Date de publication : 08.07.1999 Date de dépôt international : 22.10.1998
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL).
ASM LITHOGRAPHY B.V. [NL/NL]; De Run 1110, NL-5503 LA Veldhoven (NL)
Inventeurs : SPERLING, Frank, Bernard; (NL).
LOOPSTRA, Erik, Roelof; (NL).
PEIJNENBURG, Antonius, Theodorus, Adrianus; (NL)
Mandataire : WOLFS, Marc, J., M.; Internationaal Octrooibureau B.V., P.O. Box 220, NL-5600 AE Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
97204133.9 29.12.1997 EP
Titre (EN) POSITIONING DEVICE HAVING THREE COIL SYSTEMS MUTUALLY ENCLOSING ANGLES OF 120°, AND LITHOGRAPHIC DEVICE COMPRISING SUCH A POSITIONING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT DOTE DE TROIS SYSTEMES DE BOBINAGE DONT LES AXES DEFINISSENT DES ANGLES DE 120° ENTRE EUX, ET DISPOSITIF LITHOGRAPHIQUE COMPRENANT UN TEL DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a positioning device (3) comprising a first part (33) and a second part (35) having an object table (5). The second part can be displaced relative to the first part parallel to an X-direction and parallel to a Y-direction which is perpendicular to the X-direction and can be rotated relative to the first part about an axis of rotation (73) directed parallel to a Z-direction which is perpendicular to the X-direction and perpendicular to the Y-direction by means of three motors (75, 77, 79) which each comprises a permanent-magnet system (97, 99, 101) and an electrical-coil system (81, 83, 85) cooperating with the permanent-magnet system. The electrical-coil systems each comprises windings which are mainly directed parallel to a main axis (87, 89, 91) of the electrical-coil system which is directed perpendicularly to the Z-direction. According to the invention, the main axis of each of the three motors encloses an angle of substantially 120° with the main axis of each of the two other motors. In this manner, the points of application on the second part of the driving forces of the three motors are uniformly distributed relative to the second part, so that the driving forces can be uniformly transmitted to the object table by means of a relatively light and simple stiffening structure (119) of the second part. In a special embodiment of the positioning device, the main axes of the three motors are mutually arranged in a star-shaped configuration. In a further embodiment of the positioning device (3'), the main axes (87', 89', 91') of the three motors (75', 77', 79') are mutually arranged in a triangular configuration. The positioning device is used in a lithographic device according to the invention for displacing a substrate table (5) of the lithographic device relative to a focusing unit of the lithographic device.
(FR)Dispositif de positionnement (3) qui comporte une première partie (33) et une seconde partie (35) dotée d'une table (5) pour objets. La seconde partie peut être déplacée par rapport à la première parallèlement à un sens X et parallèlement à un sens Y qui est perpendiculaire au sens X, et peut tourner par rapport à la première partie autour d'un axe de rotation (73) parallèle au sens Z qui est perpendiculaire au sens X et perpendiculaire au sens Y, à l'aide de trois moteurs (75, 77, 79) qui comportent chacun un système d'aimant permanent (97, 99, 101) et un système de bobinage électrique (81, 83, 85) coopérant avec le système d'aimant permanent. Les systèmes de bobinage électrique comprennent chacun des bobinages qui sont principalement parallèles à l'axe principal (87, 89, 91) du système de bobinage électrique qui est lui-même perpendiculaire au sens Z. Selon la présente invention, l'axe principal de chacun des trois moteurs forme un angle de 120° avec l'axe principal de chacun des deux autres moteurs. De cette manière, les points d'application sur la seconde partie des forces d'entraînement des trois moteurs sont uniformément réparties par rapport à ladite seconde partie, si bien que lesdites forces peuvent être uniformément transmises à la table pour objets à l'aide d'une structure (119) de renforcement relativement légère et simple de la seconde partie. Dans un mode de réalisation spécial dudit dispositif de positionnement, les axes principaux des trois moteurs sont mutuellement disposés selon une configuration en étoile. Dans un autre mode de réalisation du dispositif de positionnement (3'), les axes principaux (87', 89', 91') des trois moteurs (75', 77', 79') sont mutuellement disposés selon une configuration triangulaire. Ledit dispositif de positionnement est utilisé dans un dispositif lithographique selon la présente invention pour déplacer une table substrat (5) du dispositif lithographique par rapport à une unité de focalisation du dispositif lithographique.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)