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1. WO1999004417 - TECHNIQUE DE DETECTION DE POSITION ET CAPTEUR DE POSITION

Numéro de publication WO/1999/004417
Date de publication 28.01.1999
N° de la demande internationale PCT/JP1998/003133
Date du dépôt international 14.07.1998
CIB
G03F 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
9Mise en registre ou positionnement d'originaux, de masques, de trames, de feuilles photographiques, de surfaces texturées, p.ex. automatique
CPC
G03F 9/70
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
9Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
70for microlithography
Déposants
  • NIKON CORPORATION [JP]/[JP] (AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BY, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CU, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GA, GB, GE, GH, GM, GN, GR, GW, HU, ID, IE, IL, IS, IT, KE, KG, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, NE, NL, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SN, SZ, TD, TG, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZW)
  • KIDA, Yoshiki [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • KIDA, Yoshiki
Mandataires
  • NAGAI, Fuyuki
Données relatives à la priorité
9/20528014.07.1997JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) POSITION SENSING METHOD AND POSITION SENSOR
(FR) TECHNIQUE DE DETECTION DE POSITION ET CAPTEUR DE POSITION
Abrégé
(EN)
A position sensing mark is provided on an object whose position is to be measured. The position sensing mark comprises a predetermined reference point and a plurality of mark elements including information on positions relative to the reference point. At least one mark element is detected by a detector and, in accordance with the detected mark element, the relative position of the detection origin of the detector relative to the reference point is found and, in accordance with the relative position, the position of the object relative to the detection origin of the detector is found.
(FR)
On appose, dans le cadre de cette invention, une marque de détection de position sur un objet dont la position est à évaluer. Cette marque comporte un point de référence prédéterminé et plusieurs éléments de marquage, dont une donnée de position relative au point de référence. Le capteur détecte au moins un élément de marquage et, en fonction de cet élément détecté, on obtient la position relative de la détection initiale effectuée par le capteur par rapport au point de référence, de même, qu'en fonction de la position relative, on obtient la position de l'objet par rapport à la détection initiale effectuée par le capteur.
Également publié en tant que
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