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1. WO1999002972 - PROCEDE D'ETALONNAGE D'UN CAPTEUR SPECTROSCOPIQUE

Numéro de publication WO/1999/002972
Date de publication 21.01.1999
N° de la demande internationale PCT/US1998/013587
Date du dépôt international 07.07.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 05.02.1999
CIB
G01J 3/28 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
28Etude du spectre
G01J 3/42 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
28Etude du spectre
42Spectrométrie d'absorption; Spectrométrie à double faisceau; Spectrométrie par scintillement; Spectrométrie par réflexion
G01N 21/27 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
25Couleur; Propriétés spectrales, c. à d. comparaison de l'effet du matériau sur la lumière pour plusieurs longueurs d'ondes ou plusieurs bandes de longueurs d'ondes différentes
27en utilisant la détection photo-électrique
CPC
G01J 2003/2866
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
2866Markers; Calibrating of scan
G01J 3/42
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
G01N 21/276
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
27using photo-electric detection
274Calibration, base line adjustment, drift correction
276with alternation of sample and standard in optical path
Déposants
  • L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE [FR]/[FR]
Inventeurs
  • MCANDREW, James, J., F.
  • INMAN, Ronald, S.
Mandataires
  • GESS, E., Joseph
Données relatives à la priorité
08/890,92610.07.1997US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR CALIBRATION OF A SPECTROSCOPIC SENSOR
(FR) PROCEDE D'ETALONNAGE D'UN CAPTEUR SPECTROSCOPIQUE
Abrégé
(EN)
A novel method for calibration of a spectroscopic sensor is provided. In the method, a spectroscopic system is provided. The system includes a measurement cell having one or more walls which at least partially enclose a sample region. The cell further includes a light entry port and a light exit port. The light entry port and the light exit port can be the same port or separate ports. Each of the ports contains a light transmissive window through which a light beam passes along an internal light path inside the measurement cell. The system further has an optical chamber which contains a light source for generating the light beam which passes through the light entry port into the cell, and a detector for measuring the light beam exiting the cell through the light exit port. The light beam passes along an external light path inside the optical chamber. In addition, a gas inlet is connected to the optical chamber. A calibration gas stream is introduced into the optical chamber. The calibration gas stream contains a calibrating gas species and a carrier gas. The calibrating gas species is present in the calibration gas stream in a known concentration. A spectroscopy measurement of the calibration gas stream is then performed. The method finds particular applicability in the calibration of an in-line spectroscopic sensor useful in the detection of molecules of interest in a semiconductor processing tool.
(FR)
Cette invention se rapporte à un nouveau procédé d'étalonnage d'un capteur spectroscopique ainsi qu'à un système spectroscopique associé. Ledit système comporte une cellule de mesure possédant une ou plusieurs parois qui entourent au moins partiellement une région échantillon. Ladite cellule comporte un point d'accès en entrée pour la lumière et un point d'accès en sortie pour la lumière qui peuvent être un seul et même point d'accès ou des points d'accès distincts. Chacun de ces points d'accès comporte une fenêtre pour le passage de la lumière, à travers laquelle passe un faisceau lumineux le long d'une traversée optique interne située à l'intérieur de la cellule de mesure. Ledit système comporte en outre une chambre optique renfermant une source lumineuse conçue pour générer le faisceau lumineux qui passe par le point d'entrée et pénètre dans la cellule, et un détecteur conçu pour mesurer le faisceau lumineux ressortant de la cellule par le point de sortie de lumière. Le faisceau lumineux passe le long d'une traversée optique externe située à l'intérieur de la chambre optique. Une entrée de gaz est par ailleurs reliée à la chambre optique. Un courant gazeux d'étalonnage, qui est introduit dans la chambre optique, contient une espèce gazeuse d'étalonnage et un gaz porteur. L'espèce gazeuse d'étalonnage présente dans le courant gazeux d'étalonnage possède une concentration connue. Il est alors possible d'effectuer une mesure par spectroscopie du courant gazeux d'étalonnage. Le procédé de cette invente s'avère particulièrement utile à l'étalonnage d'un capteur spectroscopique en ligne, utilisé pour la détection de molécules particulières dans un équipement de traitement de semi-conducteurs.
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