(EN) A method for allowing process kits made of magnetic materials to be used for processes that are normally adversely effected by magnetic materials is disclosed. A magnetic part (23) is heated to a temperature near or above the part's Curie temperature prior to beginning processing, and is maintained at a temperature near or above the part's Curie temperature during processing. Preferably the magnetic material is a material that has a low coefficient of thermal expansion at temperatures near or less than the Curie temperature and has a Curie temperature near the operating temperature of the process.
(FR) L'invention concerne un procédé permettant d'utiliser des kits, réalisés en matériaux magnétiques, dans des processus normalement perturbés par les matériaux magnétiques. Un élément magnétique (23) est chauffé jusqu'à une température sensiblement égale, ou supérieure, à la température de Curie de l'élément avant le début du traitement, puis il est maintenu à une température sensiblement égale, ou supérieure, à la température de Curie de l'élément au cours du traitement. De préférence, le matériau magnétique est un matériau présentant un coefficient de dilatation thermique faible pour des températures sensiblement égales, ou inférieures, à la température de Curie et une température de Curie sensiblement égale à la température utilisée pour le traitement.