WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO1998053481) ELEMENT D'OUVERTURE POUR FAISCEAU ELECTRONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/053481    N° de la demande internationale :    PCT/EP1998/002853
Date de publication : 26.11.1998 Date de dépôt international : 14.05.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    30.11.1998    
CIB :
H01J 37/09 (2006.01)
Déposants : LEICA MICROSYSTEMS LITHOGRAPHY LIMITED [GB/GB]; Clifton Road, Cambridge CB1 3QH (GB) (Tous Sauf US).
ZHANG, Tao [GB/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : ZHANG, Tao; (GB)
Données relatives à la priorité :
9710019.2 16.05.1997 GB
Titre (EN) ELECTRON BEAM APERTURE ELEMENT
(FR) ELEMENT D'OUVERTURE POUR FAISCEAU ELECTRONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)An electron beam aperture element (10) comprises a body (11) provided with a passage (12) for an electron beam (E) and with a blocking surface (15) for blocking travel of part or all of the beam otherwise than through the passage. The blocking surface (15) is angled to cause departing electrons derived from the blocked beam or part thereof to be directed away from the axis (13) of the passage and, in particular, into an electron trap cavity (21) bounded by the surface (15) and a wall of a screening member (17). The wall returns electrons to the blocking surface (15) for redirection back into the cavity (21), thus preventing escape of scattered electrons or delaying their escape until sufficient absorption has taken place to render them largely harmless to the interior environment of an electron beam column equipped with the element.
(FR)L'invention concerne un élément d'ouverture (10) pour faisceau électronique, qui comprend un corps (11) présentant un passage (12) pour faisceau électronique (E) et une surface de blocage (15) servant à bloquer la course d'une partie ou de l'ensemble du faisceau et à empêcher ladite partie ou ledit ensemble du faisceau de passer ailleurs qu'au travers du passage. Ladite surface (15) est inclinée de manière à dévier l'axe (13) du passage les électrons émis en provenance du faisceau bloqué ou d'une partie de celui-ci. Les électrons concernés sont envoyés dans une cavité (21) piège à électrons délimitée par la surface (15) et une paroi d'un élément filtrant (17). La paroi renvoie les électrons à la surface (15) de blocage qui les redirige dans la cavité (21), ce qui permet d'éviter la fuite d'électrons diffusés ou de retarder leur fuite jusqu'à ce qu'ait eu lieu une absorption suffisante pour leur ôter en grande partie tout effet nuisible à l'environnement intérieur d'une colonne à faisceau électronique équipée de l'élément.
États désignés : CN, JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)