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1. (WO1998052214) SYSTEME DE ROTOR A LEVITATION MAGNETIQUE POUR UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/052214    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/009762
Date de publication : 19.11.1998 Date de dépôt international : 12.05.1998
CIB :
H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : TIETZ, James, V.; (US).
BIERMAN, Benjamin; (US)
Mandataire : GOREN, David, J.; Applied Materials, Inc. P.O. Box 450A Santa Clara, CA 95052 (US)
Données relatives à la priorité :
08/879,497 16.05.1997 US
Titre (EN) MAGNETICALLY-LEVITATED ROTOR SYSTEM FOR AN RTP CHAMBER
(FR) SYSTEME DE ROTOR A LEVITATION MAGNETIQUE POUR UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE
Abrégé : front page image
(EN)Accommodations for a magnetically levitated rotating system in an RTP chamber are provided. The system includes a magnetically permeable rotor; a cylindrical thin wall concentric with and surrounding the rotor; and a magnetic stator assembly adjacent the cylindrical thin wall. The radial distance between the rotor and the magnetic stator assembly is small enough that a magnetic field created by the stator assembly magnetically levitates the rotor but is great enough that the rotor does not physically contact the thin wall upon thermal expansion. The system is such that the relative positions of a plurality of sensors which determine the position of a rotating frame is maintained upon dismantling. Thermal isolation of the area including the rotor is accomplished from the reactive gases in a processing area of the RTP chamber. The rotor may be cooled by a number of cooling chambers formed within the chamber.
(FR)L'invention concerne des installations pour un système de rotation à lévitation magnétique dans une chambre de traitement thermique rapide. Le système comprend un rotor à perméabilité magnétique; une paroi cylindrique mince ayant le même centre que le rotor et l'entourant; et un ensemble de stator magnétique contigu à la paroi cylindrique mince. La distance radiale entre le rotor et l'ensemble de stator magnétique est assez réduite pour qu'un champ magnétique créé par l'ensemble de stator entraîne une lévitation magnétique du rotor, mais cette distance est assez grande pour que le rotor n'entre pas en contact physique avec la paroi mince par expansion thermique. Le système est tel que les positions relatives de plusieurs détecteurs qui déterminent la position d'un cadre rotatif sont maintenues après démontage. La zone comprenant le rotor est thermiquement isolée des gaz réactifs dans une zone de traitement de la chambre de traitement thermique rapide. Le rotor peut être refroidi par plusieurs chambres de refroidissement formées à l'intérieur de la chambre.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)