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1. (WO1998052019) ELLIPSOMETRE EQUIPE DE DEUX LASERS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/052019    N° de la demande internationale :    PCT/NL1998/000258
Date de publication : 19.11.1998 Date de dépôt international : 08.05.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    08.12.1998    
CIB :
G01N 21/21 (2006.01)
Déposants : TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT [NL/NL]; Postbus 5, NL-2600 AA Delft (NL) (Tous Sauf US).
HEMMES, Klaas [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
KOOPS, Karl, Richard [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : HEMMES, Klaas; (NL).
KOOPS, Karl, Richard; (NL)
Mandataire : DE BRUIJN, Leendert, C.; Nederlandsch Octrooibureau, Scheveningseweg 82, P.O. Box 29720, NL-2502 LS The Hague (NL)
Données relatives à la priorité :
1006016 09.05.1997 NL
Titre (EN) ELLIPSOMETER WITH TWO LASERS
(FR) ELLIPSOMETRE EQUIPE DE DEUX LASERS
Abrégé : front page image
(EN)Ellipsometer having light source means which provide a first light beam (g¿1?) having a first angular frequency ($g(v)¿1?) and a second light beam (g¿2?) having a second angular frequency ($g(v)¿2?), a neutral beam splitter (N) having a front face for receiving a measuring beam (g'¿m2?), which during operation is produced by scanning a sample (S;OD1;OD2) with the second light beam (g¿2?), and a rear face for receiving the first light beam (g¿1?), wherein, during operation, an interference beam is formed at the rear face, wherein the light source means comprise two separate laser sources (L1, L2) and the ellipsometer is provided with a control circuit (C) having at least one input for receiving information with regard to the first and second angular frequencies ($g(v)¿2?, $g(v)¿1?) or the difference between the two and at least one output, coupled to at least one of the two laser sources, for controlling the difference between the first and second angular frequencies ($g(v)¿2?, $g(v)¿1?).
(FR)On décrit un ellipsomètre muni de moyens d'éclairage qui produisent un premier faisceau lumineux (g¿1?) ayant une première fréquence angulaire ($g(v)¿1?) et un deuxième faisceau lumineux (g¿2?) ayant une deuxième fréquence angulaire ($g(v)¿2?), un séparateur de faisceau neutre (N) comportant une face d'attaque pour recevoir un faisceau de mesure (g'¿m2?) qui, pendant le fonctionnement, est produit par balayage d'un échantillon (S;OD1;OD2) au moyen du deuxième faisceau lumineux (g¿2?), et une face arrière pour recevoir le premier faisceau lumineux (g¿1?). Un faisceau d'interférence est formé sur la face arrière pendant le fonctionnement, et les moyens d'éclairage comprennent deux sources laser (L1, L2). L'ellipsomètre est équipé d'un circuit de commande (C) présentant au moins une entrée pour recevoir des informations concernant la première et la deuxième fréquences angulaires ($g(v)¿1?, $g(v)¿2?) ou la différence entre elles, et au moins une sortie couplée à au moins une ou deux sources laser pour réguler la différence entre la première et la deuxième fréquences angulaires ($g(v)¿1?, $g(v)¿2?).
États désignés : AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, GW, HU, ID, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : néerlandais; flamand (NL)