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1. (WO1998051928) PROCEDE DE PRODUCTION D'UN CORPS DE POMPE A MICROMEMBRANE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/051928    N° de la demande internationale :    PCT/EP1998/002506
Date de publication : 19.11.1998 Date de dépôt international : 28.04.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    10.12.1998    
CIB :
F04B 43/04 (2006.01), F15C 5/00 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstrasse 54, D-80636 München (DE) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, JP, LU, MC, NL, PT, SE only).
LINNEMANN, Reinhard [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
RICHTER, Martin [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KLUGE, Stefan [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
WOIAS, Peter [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : LINNEMANN, Reinhard; (DE).
RICHTER, Martin; (DE).
KLUGE, Stefan; (DE).
WOIAS, Peter; (DE)
Mandataire : SCHOPPE, Fritz; Schoppe & Zimmermann, Postfach 71 08 67, D-81458 München (DE)
Données relatives à la priorité :
197 19 861.9 12.05.1997 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MIKROMEMBRANPUMPENKÖRPERS
(EN) METHOD FOR PRODUCING A MICROMEMBRANE PUMP BODY
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION D'UN CORPS DE POMPE A MICROMEMBRANE
Abrégé : front page image
(DE)Ein Verfahren zum Herstellen eines Pumpenkörpers mit einer mit einem Einlaßventil (106) versehenen Einlaßöffnung und einer mit einem Auslaßventil (108) versehenen Auslaßöffnung umfaßt zunächst das Strukturieren jeweils einer ersten Hauptoberfläche einer ersten und zweiten Halbleiterscheibe (200) zur Festlegung einer Ventilklappenstruktur (202) des Einlaßventils und einer Ventilsitzstruktur (204) des Auslaßventils in der ersten Scheibe und einer Ventilklappenstruktur des Auslaßventils und einer Ventilsitzstruktur des Einlaßventils in der zweiten Scheibe. Nachfolgend wird jeweils eine Ventilklappenwannenstruktur (206; 216) und eine Ventilöffnungswannenstruktur (208; 218) in einer vorbestimmten Beziehung zu den Ventilklappenstrukturen und den Ventilsitzstrukturen in jeweils einer zweiten Hauptoberfläche der ersten und der zweiten Halbleiterscheibe gebildet. Die ersten Hauptoberflächen der ersten und der zweiten Halbleiterscheibe werden derart verbunden, daß die jeweils eine Ventilklappenstruktur zu einer Ventilsitzstruktur eine vorbestimmte Beziehung aufweist. Abschließend werden die jeweils zweiten Hauptoberflächen der ersten und der zweiten Halbleiterscheibe zumindest im Bereich der Ventilklappenwannenstruktur und der Ventilöffnungswannenstruktur zum Freilegen der Ventilklappen und zum Öffnen der Ventilsitze geätzt.
(EN)The invention relates to a method for producing a pump body comprising an inlet having an inlet valve (106) and an outlet having an outlet valve (108). According to said method, the first step is for a first main surface each of a first and second semi-conductor wafer (200) to be structured so as to establish a valve flap structure (202) for the inlet valve and a valve seat structure (204) for the outlet valve in the first wafer as well as a valve flap structure for the outlet valve and a valve seat structure for the inlet valve in the second wafer. Thereafter, for each wafer, one trough-shaped structure for a valve flap (206; 216) and one trough-shaped structure for a valve opening (208; 218) is embodied in a predetermined relationship to the valve flap structures and the valve seat structures in the respective second main surfaces of the first and second semi-conductor wafer. The first main surfaces of the first and second semi-conductor wafer are connected in such a way that each valve flap structure is positioned in a predetermined relationship to a valve seat structure. Lastly, the second main surfaces of the first and second semi-conductor wafers are etched at least in the area of the trough-shaped structure for a valve flap and the trough-shaped structure for a valve opening so as to release the valve flaps and open the valve seats.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de produire un corps de pompe comportant un orifice d'admission muni d'une soupape d'admission (106) et d'un orifice de sortie (108) muni d'une soupape de sortie. Selon ledit procédé, il est tout d'abord procédé à la structuration d'une première surface principale d'une première et d'une seconde tranche (200), afin de déterminer une structure de clapet (202) de la soupape d'admission et une structure de siège (204) de la soupape de sortie dans la première tranche et d'une structure de siège de la soupape d'admission dans la seconde tranche. Dans chaque cas, il est ensuite formé une structure en auge du clapet de soupape (206; 216) et une structure en auge d'orifice de soupape (208; 218) dans un rapport prédéterminé avec les structures de clapet de soupape et les structures de siège de soupape dans une seconde surface principale de la première et de la seconde tranche. Chacune des premières surfaces principales de la première et de la seconde tranche est reliée de manière que chaque structure de clapet de soupape ait un rapport prédéterminé avec une structure de siège. Chacune des secondes surfaces principales de la première et de la seconde tranche est ensuite mordancée au moins dans la zone de la structure en auge du clapet de soupape et de la structure en auge de l'orifice de soupape, afin de libérer les clapets de soupape et d'ouvrir les sièges de soupape.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)