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1. (WO1998051417) PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT DE FABRIQUER DES CATHODES A REVETEMENT D'OXYDE THERMO-IONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/051417    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/010045
Date de publication : 19.11.1998 Date de dépôt international : 15.05.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    15.12.1998    
CIB :
C23C 14/00 (2006.01), C23C 14/08 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01), G21K 1/08 (2006.01), H01J 9/04 (2006.01)
Déposants : THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY [US/US]; Suite 350, 900 Welch Road, Palo Alto, CA 94304 (US)
Inventeurs : CARYOTAKIS, George; (US).
SCHEITRUM, Glenn; (US).
BROWN, Ian; (US).
MONTEIRO, Othon, R.; (US)
Mandataire : McFARLANE, Thomas, J.; 426 Lowell Avenue, Palo Alto, CA 94301 (US)
Données relatives à la priorité :
60/046,731 16.05.1997 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MAKING THERMIONIC OXIDE CATHODES
(FR) PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT DE FABRIQUER DES CATHODES A REVETEMENT D'OXYDE THERMO-IONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A thermionic cathode and method for making same comprises depositing a thermionic oxide coating on a substrate surface. The coating comprises barium oxide, strontium oxide, or calcium oxide or a combination of these materials. An ion beam having barium, strontium, or calcium ions is directed toward the substrate surface (37). The ions (31) have a kinetic energy sufficient to cause adhesion between the ions and substrate. The substrate surface is exposed to pure oxygen gas. In a particular embodiment, the oxygen has a pressure of about 5 x 10?-6¿ Torr. The oxygen reacts with the deposited ions, forming the thermionic oxide coating. Preferably, the ion beam is generated by a metal vapor vacuum arc plasma gun (19). Also preferably, the ions are accelerated toward the substrate surface with an accelerating bias voltage applied to the substrate by a bias power supply (46) to help the ions adhere to the substrate surface.
(FR)Cathode thermo-ionique et procédé de fabrication de ladite cathode qui consiste à déposer un revêtement d'oxyde thermo-ionique sur une surface de substrat. Le revêtement comporte de l'oxyde de baryum, de l'oxyde de strontium ou de l'oxyde de calcium ou une combinaison desdits oxydes. Un faisceau ionique ayant des ions de barium, de strontium, ou de calcium est dirigé vers la surface (37) du substrat. Les ions (31) possèdent une énergie cinétique suffisante pour provoquer leur adhérence sur le substrat. La surface de substrat est exposée à de l'oxygène pur. Dans un mode de réalisation particulier, l'oxygène présente une pression d'environ 5 x 10?-6¿ torr. L'oxygène réagit avec les ions déposés, formant ainsi le revêtement d'oxyde thermo-ionique. De préférence, le faisceau ionique est généré par un pistolet (19) à plasma à arc sous vide à vapeurs métalliques. De préférence également, les ions sont accélérés vers la surface de substrat à l'aide d'une tension de polarisation d'accélération appliquée sur le substrat par un dispositif d'alimentation (46) en puissance polarisée destiné à aider les ions à adhérer à la surface du substrat.
États désignés : CA, JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)