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1. (WO1998049545) UNITE DE DETECTION, PROCEDE ET DISPOSITIF D'INSPECTION DE LA SURFACE D'UN OBJET
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/049545    N° de la demande internationale :    PCT/IB1998/000614
Date de publication : 05.11.1998 Date de dépôt international : 23.04.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.11.1998    
CIB :
G01B 11/24 (2006.01), G01N 21/89 (2006.01), G01N 21/898 (2006.01), G02B 26/12 (2006.01)
Déposants : BAUMER OPTRONIC GMBH [DE/DE]; Badstrasse 30, D-01454 Radeberg (DE) (AT, AU, BE, CA, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RU, SE only).
WOLLMANN, Christian [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
WENERT, Lutz [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
IHLEFELD, Joachim [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
GRIESER, Ralf [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : WOLLMANN, Christian; (DE).
WENERT, Lutz; (DE).
IHLEFELD, Joachim; (DE).
GRIESER, Ralf; (DE)
Mandataire : FREI, Alexandra; Frei Patentanwaltsbüro, Postfach 768, CH-8029 Zürich (CH)
Données relatives à la priorité :
197 17 488.4 25.04.1997 DE
Titre (DE) SENSOREINHEIT, VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR INSPEKTION DER OBERFLÄCHE EINES OBJEKTES
(EN) SENSOR UNIT, PROCESS AND DEVICE FOR INSPECTING THE SURFACE OF AN OBJECT
(FR) UNITE DE DETECTION, PROCEDE ET DISPOSITIF D'INSPECTION DE LA SURFACE D'UN OBJET
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Sensoreinheit (50), eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Inspektion der Oberfläche (10', 10') eines Objektes (10) zwecks Feststellung von Oberflächenmerkmalen, wie Strukturstörungen. Die Vorrichtung beinhaltet ein Sendermodul (51), welches mindestens ein Strahlbündel (6, 6', 6') aussendet, und ein Empfängermodul (52) mit wenigstens einem Lichtempfänger (15, 16, 20). Im Brennpunkt eines Parabolspiegels (1) ist ein sich drehendes Polygonspiegelrad (2) angeordnet, auf welches das Strahlbündel (6) des Lasers (3, 4) mittels einer telezentrischen Optik gerichtet ist, die Sender- und Empfängerstrahl auf der gleichen optischen Achse führt, wobei der Parabolspiegel (1) das umgelenkte Strahlbündel (6, 6', 6') unter einem gleichbleibenden Winkel bezüglich der Symmetrieachse (7) des Parabolspiegels (1) längs einer Abtastzeile (23, 24) über das Objekt (10) führt und das remittierte Strahlbündel nach seiner Ausspiegelung aus dem gemeinsamen Strahlengang auf die Verarbeitungseinheit (5) fällt.
(EN)A sensor unit (50), a process and a device are disclosed for inspecting the surface (10', 10'') of an object (10) for determining its surface characteristics, such as structural disturbances. The device has a transmitter module (51) which emits at least one radiation beam (6, 6', 6'') and a receiver module (52) with at least one photo-receiver (15, 16, 20). A rotating polygonal mirror wheel (2) is arranged in the focal point of a parabolic mirror (1) onto which the radiation beam (6) from the laser (3, 4) is directed by telecentric optics which guide the transmitter and receiver beam on the same optical axis. The parabolic mirror (1) guides the deflected radiation beam (6, 6', 6'') over the object (10) at a constant angle relative to the axis of symmetry (7) of the parabolic mirror (1), along a scanning line (23, 24). The reflected radiation beam falls onto the processing unit (5) after being reflected out of the common radiation path.
(FR)L'invention concerne une unité de détection, un procédé et un dispositif d'inspection de la surface (10', 10'') d'un objet (10) afin de déterminer les caractéristiques de sa surface, telles que les perturbations de sa structure. Le dispositif comprend un module émetteur (51) qui émet au moins un faisceau de rayonnements (6, 6', 6'') et un module récepteur (52) avec au moins un photorécepteur (15, 16, 20). Une roue à miroir polygonal (2) est montée rotative dans le foyer d'un miroir parabolique. Le faisceau de rayonnements (6) du laser (3, 4) est dirigé sur la roue à miroir polygonal (2) au moyen d'une unité optique télécentrique qui dirige le faisceau de l'émetteur et du récepteur sur le même axe optique. Le miroir parabolique (1) dirige le faisceau de rayonnements dévié (6, 6', 6'') sur l'objet (10) le long d'une ligne d'exploration (23, 24) sous un angle constant par rapport à l'axe de symétrie (7) du miroir parabolique (1). Le faisceau de rayonnements réfléchi par le miroir hors du trajet optique commun incide sur l'unité de traitement (5).
États désignés : AU, CA, RU, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)