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1. (WO1998049368) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LE NETTOYAGE ET L'ACTIVATION DE STRUCTURES OU DE SURFACES DE PLATINES ELECTROCONDUCTRICES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/049368    N° de la demande internationale :    PCT/DE1998/001141
Date de publication : 05.11.1998 Date de dépôt international : 22.04.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.11.1998    
CIB :
B08B 7/00 (2006.01), C23G 5/00 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01), H05K 3/34 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstrasse 54, D-80636 München (DE) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, JP, LU, MC, NL, PT, SE only).
LANG, Jürgen, E. [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
NEIGER, Manfred [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : LANG, Jürgen, E.; (DE).
NEIGER, Manfred; (DE)
Mandataire : PFEIFER, Hans-Peter; Beiertheimer Allee 19, D-76137 Karlsruhe (DE)
Données relatives à la priorité :
197 17 698.4 26.04.1997 DE
Titre (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REINIGUNG UND AKTIVIERUNG VON ELEKTRISCH LEITENDEN STRUKTUREN UND PLATINENOBERFLÄCHEN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR CLEANING AND ACTIVATING ELECTRICALLY CONDUCTIVE STRUCTURES AND CIRCUIT BOARDS
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LE NETTOYAGE ET L'ACTIVATION DE STRUCTURES OU DE SURFACES DE PLATINES ELECTROCONDUCTRICES
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen oder Aktivieren elektrisch leitender, strukturierter Schichten. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, daß hierzu eine dielektrisch behinderte Entladung verwendet wird.
(EN)The invention relates to a method for cleaning or activating electrically conductive structured layers. According to the invention, a dielectrically impeded discharge is used for this purpose.
(FR)L'invention concerne un procédé pour le nettoyage ou l'activation de couches électroconductrices structurées. Selon l'invention, il est prévu d'utiliser à cet effet une décharge inhibée diélectriquement.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)