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1. (WO1998042011) PROCEDE D'ELIMINATION DE METAUX PAR U.V./HALOGENE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/042011    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/005142
Date de publication : 24.09.1998 Date de dépôt international : 17.03.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.10.1998    
CIB :
H01L 21/306 (2006.01), H01L 21/3213 (2006.01)
Déposants : FSI INTERNATIONAL, INC. [US/US]; 322 Lake Hazeltine Drive, Chaska, MN 55318-1096 (US).
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY [US/US]; 3000 Massachusetts Avenue, Cambridge, MA 02139 (US)
Inventeurs : LAWING, Andrew, Scott; (US).
FAYFIELD, Robert, T.; (US).
SAWIN, Herbert, H.; (US).
CHANG, Jane; (US)
Mandataire : STEINKRAUS, Walter, J.; Suite 2000, 6109 Blue Circle Drive, Minnetonka, MN 55343-9131 (US)
Données relatives à la priorité :
08/818,890 17.03.1997 US
Titre (EN) UV/HALOGEN METALS REMOVAL PROCESS
(FR) PROCEDE D'ELIMINATION DE METAUX PAR U.V./HALOGENE
Abrégé : front page image
(EN)A chlorine based dry-cleaning system appropriate for removing metal contaminants from the surface of substrate is described in which the metal contaminant is chlorinated and reduced to a volatile metal chloride by UV irradiation. The process parameters of chlorine gas partial pressure, temperature, ultraviolet bandwidth, and/or the sequence of exposure of the substrate to the chlorine containing gas and to the ultraviolet radiation are selected so as to effect substantial removal of the metal without excessive substrate roughening.
(FR)L'invention concerne un système de nettoyage à sec à base de chlore conçu pour éliminer des contaminants métalliques de la surface d'un substrat. Le contaminant métallique est chloruré et réduit de façon à obtenir un chlorure métallique volatil par irradiation ultraviolette. Les paramètres de pression partielle du gaz chloré, de température, de largeur de bande des ultraviolets et/ou de la séquence d'exposition du substrat au gaz contenant du chlore et au rayonnement ultraviolet sont sélectionnés de façon à éliminer sensiblement le métal sans rendre le substrat excessivement rugueux.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)