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1. (WO1998042008) SYSTEME A PLAQUETTE INTEGREE DE CHARGEMENT/DECHARGEMENT DE CONTENANT ET DE TRANSFERT DE MASSE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/042008    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/005230
Date de publication : 24.09.1998 Date de dépôt international : 16.03.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.09.1998    
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : FORTREND ENGINEERING CORPORATION [US/US]; 1273 Hammerwood Avenue, Sunnyvale, CA 94089 (US)
Inventeurs : RUSH, John, M.; (US)
Mandataire : SCHREIBER, Donald, E.; P.O. Box 64150, Sunnyvale, CA 94088-4150 (US)
Données relatives à la priorité :
60/039,332 17.03.1997 US
09/038,809 11.03.1998 US
Titre (EN) WAFER POD LOADER AND MASS TRANSFER SYSTEM
(FR) SYSTEME A PLAQUETTE INTEGREE DE CHARGEMENT/DECHARGEMENT DE CONTENANT ET DE TRANSFERT DE MASSE
Abrégé : front page image
(EN)A system (20) includes an interface (22) for receiving a pod (36) having a carrier (48) that receives wafers (64), and that is initially enclosed within a base (46) and a pod cover (44). The system (20) also includes a mechanism (56) that transfers an exposed carrier (48) between the interface (22) and platform (38) of a mass-transfer machine (24) included in the system (20). The machine (24) includes a gantry arm (76) for transferring the carrier (48) between the platform (38) and a transfer station (78). A retainer assembly (82) is positionable over the carrier (48) at the transfer station (78), and over a process carrier (122) that is used in a process tool (32). Moveable retainers (92) of the assembly (82) receive and hold the wafers (64). The machine (24) inlcudes an elevator that moves between the transfer station (78) and the process carrier (122). The elevator extends and retracts for transferring wafers (64) between the retainers (92) and either the carrier (48) or the process carrier (122). A turntable (128), that receives the process carrier (122'), permits automatically reorienting wafers (64).
(FR)L'invention concerne un système (20) pourvu d'une interface (32), destinée à loger un contenant (36), pourvu d'un chariot (48) contenant des plaquettes (64). Ce système est enveloppé par une base (46) et un couvercle de contenant (44). Ce système (20) comprend en outre un mécanisme (56), permettant de transférer un chariot découvert (48) depuis ladite interface (22) jusqu'à la plate-forme (38) d'une machine de transfert de masse (24), comprise dans ledit système (20). Cette machine (24) comprend un bras portique (76), destiné à transférer le chariot (48) entre ladite plate-forme (38) et un poste de transfert (78). Au niveau de ce poste de transfert (78), un ensemble de retenue (82) peut être placé au-dessus dudit chariot (48) et au-dessus d'un chariot de traitement (122), utilisé dans un outil de traitement (32). Des dispositifs de retenue mobiles (92) de l'ensemble (82) reçoivent et retiennent les plaquettes (64). La machine (24) comprend en outre un dispositif élévateur qui se déplace entre le poste de transfert (78) et le chariot de traitement (122). Ce dispositif élévateur s'étend et se rétracte pour transférer lesdites plaquettes (64) entre les dispositifs de retenue (92) et le chariot (48) ou le chariot de traitement (122). Une plaque tournante (128), dans laquelle ledit chariot de traitement (122) vient se loger, permet de réorienter automatiquement les plaquettes (64).
États désignés : CN, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)