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1. (WO1998041671) COMPOSITION ET METHODE DE POLISSAGE D'UN COMPOSITE CONTENANT DU TITANE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/041671    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/005107
Date de publication : 24.09.1998 Date de dépôt international : 16.03.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.10.1998    
CIB :
C09G 1/02 (2006.01), C09K 3/14 (2006.01), C23F 3/00 (2006.01), H01L 21/321 (2006.01)
Déposants : RODEL, INC. [US/US]; 451 Bellevue Road, Newark, DE 19713 (US)
Inventeurs : WANG, Jiun-Fang; (US).
SETHURAMAN, Anantha, R.; (US).
COOK, Lee, Melbourne; (US)
Mandataire : BENSON, Kenneth, A.; Rodel, Inc., 451 Bellevue Road, Newark, DE 19713 (US)
Données relatives à la priorité :
08/819,236 17.03.1997 US
Titre (EN) COMPOSITION AND METHOD FOR POLISHING A COMPOSITE COMPRISING TITANIUM
(FR) COMPOSITION ET METHODE DE POLISSAGE D'UN COMPOSITE CONTENANT DU TITANE
Abrégé : front page image
(EN)An aqueous slurry is provided which is useful for the chemical-mechanical polishing of substrates containing titanium comprising: water, submicron abrasive particles, an oxidizing agent, and a combination of complexing agents comprising a phthalate compound and a compound which is a di- or tri-carboxylic acid with at least one hydroxyl group in an alpha position relative to one of the carboxyl groups.
(FR)On décrit une suspension aqueuse qui convient pour le polissage chimico-mécanique de substrats contenant du titane. Ladite suspension aqueuse comprend de l'eau, des particules submicroniques abrasives, un agent d'oxydation, et une cominaison d'agents de complexion incluant un composé phtalique et un composé constitué d'un acide bicarboxylique ou tricarboxylique présentant au moins un groupe hydroxyle dans une position alpha relativement à un des groupes carboxyles.
États désignés : CN, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)