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1. (WO1998040906) SYSTEME DE DETECTION POUR MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/040906    N° de la demande internationale :    PCT/CZ1998/000014
Date de publication : 17.09.1998 Date de dépôt international : 09.03.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    19.08.1998    
CIB :
H01J 37/244 (2006.01)
Déposants : PRECIOSA A.S. [CZ/CZ]; Opletalova 17, 466 67 Jablonec nad Nisou (CZ) (Tous Sauf US).
AUTRATA, Rudolf [CZ/CZ]; (CZ) (US Seulement).
JIRÁK, Josef [CZ/CZ]; (CZ) (US Seulement).
S^¿pinka, Jir^¿í [CZ/CZ]; (CZ) (US Seulement).
BLAZ^¿EK, Karel [CZ/CZ]; (CZ) (US Seulement)
Inventeurs : AUTRATA, Rudolf; (CZ).
JIRÁK, Josef; (CZ).
S^¿pinka, Jir^¿í; (CZ).
BLAZ^¿EK, Karel; (CZ)
Mandataire : DUSKOVÁ, Hana; Bic Cvut, Zikova 4, 166 36 Praha 6 (CZ)
Données relatives à la priorité :
PV 770-97 13.03.1997 CZ
Titre (EN) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE DETECTION SYSTEM
(FR) SYSTEME DE DETECTION POUR MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE
Abrégé : front page image
(EN)The detection system of the scanning electron microscope with the tube separated from the sample chamber (11) by means of the differential chamber (2) consists of the single-crystal scintillator (6) with the aperture stop (9); said single-crystal scintillator (6) is divided into two halves, and based on double yttrium-aluminium oxides or on yttrium silicate activated by trivalent cerium, and having the central conical opening (46), smaller base of which is on the side near to incidence of the primary electron beams, and forms the aperture stop (9). Said conical opening (46) is coated with the reflecting metal layer (37) on the contact areas of the both halves, and with the reflective layer (34) of dielectric and heavy metal on its inner surface. The single-crystal scintillator (6) is placed between the left and the right lightguides (18, 19) in space of the sample chamber (11) above the sample (10). From the external bottom (3) of the differential chamber, it is separated with the sealing (45), and from the side of the sample (10) placing, it is equipped with the circular electrode system (7) consisting of at least two electrodes (27, 28) symmetrical around the axis (47) of the primary electron beams (33).
(FR)Le système de détection d'un microscope électronique à balayage, dont le tube est séparé de la chambre à échantillon (11) par la chambre différentielle (2), comprend un scintillateur monocristal (6) avec un diaphragme (9). Le scintillateur (6) est divisé en deux moitiés et constitué d'oxydes doubles d'yttrium-aluminium ou d'un silicate d'yttrium activé par du cérium trivalent. Il présente un orifice conique central (46) dont la petite base se trouve sur le côté proche de l'incidence des faisceaux d'électrons primaires et qui forme le diaphragme (9). L'orifice conique (46) est revêtu d'une couche métallique réfléchissante (37) sur les zones de contact des deux moitiés et d'une couche réfléchissante (34) constituée d'un métal lourd diélectrique sur sa surface interne. Le scintillateur monocristal (6) est placé entre les conduits de lumière droit et gauche (18, 19) dans l'espace de la chambre à échantillon (11) au-dessus de l'échantillon (10). Il est séparé de la base externe (3) de la chambre différentielle par un système d'obturation (45) et, du côté où l'on place l'échantillon (10), il est équipé d'un système d'électrodes circulaires (7) comprenant au moins deux électrodes (27, 28) symétriques par rapport à l'axe (47) des faisceaux d'électrons primaires (33).
États désignés : AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, GW, HU, ID, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)