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1. (WO1998040791) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT POURVU DE DEUX SUPPORTS D'OBJET
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/040791    N° de la demande internationale :    PCT/IB1998/000254
Date de publication : 17.09.1998 Date de dépôt international : 27.02.1998
CIB :
B23Q 1/62 (2006.01), B23Q 11/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL) (US Seulement).
ASM Lithography B.V. [NL/NL]; De Run 1110, NL-5503 LA Veldhoven (NL) (US Seulement).
LOOPSTRA, Erik, Roelof [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
BONNEMA, Gerrit, Maarten [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
VAN DER SCHOOT, Harmen, Klaas [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
VELDHUIS, Gerjan, Peter [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
KWAN, Yim, Bun, Patrick [GB/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : LOOPSTRA, Erik, Roelof; (NL).
BONNEMA, Gerrit, Maarten; (NL).
VAN DER SCHOOT, Harmen, Klaas; (NL).
VELDHUIS, Gerjan, Peter; (NL).
KWAN, Yim, Bun, Patrick; (NL)
Mandataire : WOLFS, Marc, J., M.; Internationaal Octrooibureau B.V., P.O. Box 220, NL-5600 AE Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
97200706.6 10.03.1997 EP
Titre (EN) POSITIONING DEVICE HAVING TWO OBJECT HOLDERS
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT POURVU DE DEUX SUPPORTS D'OBJET
Abrégé : front page image
(EN)A positioning device (3) suitable for use in a lithographic device with an exposure position and a characterization position has a displacement system (35) comprising a first displacement unit (39) and a second displacement unit (41) to which object holders (21, 23) can be coupled alternately. The first displacement unit is suitable for carrying out a first series of positioning steps of a first object holder (21) in a first position and for displacing the first object holder from the first position into an intermediate position (M', M'') between the first position and a second position. The second displacement unit is suitable for carrying out a second series of positioning steps of a second object holder (23) in the second position simultaneously with an independently from the first displacement unit and for displacing the second object holder from the second position into the intermediate position. In the intermediate position, the object holders are exchanged, after which the first series of positioning steps can be carried out by the first displacement unit with the second object holder in the first position and the second series of positioning steps can be carried out by the second displacement unit with the first object holder in the second position.
(FR)Ce dispositif de positionnement (3), conçu pour un appareil lithographique, présentant une position d'exposition et une position de caractérisation, comprend un système de déplacement (35) comportant une première (39) et une seconde (41) unité de déplacement auxquelles on peut coupler en alternance des supports d'objet (21, 23). La première unité de déplacement est conçue pour exécuter, dans une première position, une première série d'étapes de positionnement d'un premier support d'objet (21) et pour déplacer ce premier support de cette première position et le mettre dans une position intermédiaire (M', M'), située entre la première position et une seconde position. La seconde unité de déplacement est conçue pour exécuter, dans une seconde position, une seconde série d'étapes de positionnement d'un second support d'objet (23), en même temps que la première unité de déplacement ou indépendamment de celle-ci, et pour déplacer le second support d'objet de cette seconde position et le mettre dans une position intermédiaire. Dans cette position intermédiaire, les supports d'objet sont échangés, après quoi la première série d'étapes de positionnement peut être exécutée par la première unité de déplacement, le second support d'objet étant alors dans la première position, et la seconde série d'étapes de positionnement peut être exécutée par la seconde unité de déplacement, le premier support d'objet étant alors dans la seconde position.
États désignés : JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)