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1. (WO1998040696) PROCEDE DE MESURE DE GRANDEURS LINEAIRES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/040696    N° de la demande internationale :    PCT/RU1997/000060
Date de publication : 17.09.1998 Date de dépôt international : 12.03.1997
CIB :
G01B 15/00 (2006.01)
Déposants : ILIIN, Mikhail Julievich [RU/RU]; (RU).
KOZLITIN, Alexei Ivanovich [RU/RU]; (RU) (US Seulement).
MAXIMOV, Sergei Kirillovich [RU/RU]; (RU) (US Seulement).
NIKITIN, Arkady Viktorovich [RU/RU]; (RU) (US Seulement)
Inventeurs : ILIIN, Mikhail Julievich; (RU).
KOZLITIN, Alexei Ivanovich; (RU).
MAXIMOV, Sergei Kirillovich; (RU).
NIKITIN, Arkady Viktorovich; (RU)
Mandataire : PATENT LAW FIRM 'JUS'; a/ya 184, Moscow, 103009 (RU)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHOD FOR MEASURING LINEAR DIMENSIONS
(FR) PROCEDE DE MESURE DE GRANDEURS LINEAIRES
Abrégé : front page image
(EN)The disclosed method for measuring linear dimensions using a scanning electron microscope consists in forming an electron beam and using it to scan the object being measured along a line. The values of the video signal at points of the scanning line are then measured for the ascending and descending profiles of the video signal that correspond to the edges of the object being measured. The positions of the invariant points are then determined on the ascending and descending profiles of the video signal. The size of the object is measured according to the distance between the invariant points, taking into account the magnification of the scanning electron microscope. The measured video signal is transposed by means of averaged approximation, while the positions of the invariant points are determined by recording the points of intersection of a curve, obtained as a result of the averaged approximation, with the ascending and descending profiles of the measured video signal.
(FR)L'invention concerne un procédé de mesure de grandeurs linéaires au moyen d'un microscope électronique à balayage. Le procédé consiste à former un faisceau d'électrons, à balayer, selon une ligne, un objet mesurable à l'aide dudit faisceau et à mesurer les valeurs d'un signal vidéo en des points de la ligne balayée pour les bords ascendant et descendant du signal vidéo, qui correspondent aux bordures de l'objet mesurable. Les étapes suivantes consistent à déterminer des emplacements de points invariants sur les bords ascendant et descendant du signal vidéo et à mesurer la grandeur de l'objet selon la distance séparant les points invariants, compte tenu du grossissement du microscope à balayage électronique. Le signal vidéo mesuré est déterminé au moyen d'approximations moyennes; pour définir l'emplacement des points invariants, on prend des points de croisement entre la courbe obtenue à la suite des approximations moyennes et les fronts descendant et descendant du signal vidéo mesuré.
États désignés : AT, AU, CA, CN, DE, GB, IL, JP, KR, RU, SE, SG, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : russe (RU)
Langue de dépôt : russe (RU)