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1. (WO1998039953) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR PRODUIRE UN PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/039953    N° de la demande internationale :    PCT/AT1998/000048
Date de publication : 11.09.1998 Date de dépôt international : 03.03.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    28.09.1998    
CIB :
H05H 1/30 (2006.01), H05H 1/34 (2006.01)
Déposants : PLATZER, Bernhard [AT/AT]; (AT)
Inventeurs : PLATZER, Bernhard; (AT)
Mandataire : POLLHAMMER, Gerda; Miksovsky & Pollhammer OEG, Währingerstrasse 3, A-1096 Wien (AT)
Données relatives à la priorité :
A 368/97 04.03.1997 AT
Titre (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN EINES PLASMAS
(EN) METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING PLASMA
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR PRODUIRE UN PLASMA
Abrégé : front page image
(DE)Bei einer Vorrichtung zum Erzeugen eines RF/HF-induzierten, niederenergetischen Plasmas (17), insbesondere Edelgasplasmas, mit einem Generator und einer Zufuhr für das Plasmagas ist vorgesehen, dass in an sich bekannter Weise der Generator mit zwei in Abstand parallel voneinander angeordneten, insbesondere ring- bzw. scheibenförmigen Elektroden (1) mit jeweils wenigstens einer Durchtrittsöffnung gekoppelt ist, dass zwischen den Elektroden (1) wenigstens ein Isolator (2) mit wenigstens einer der Durchtrittsöffnung der Elektrode zugeordneten, insbesondere kreisförmigen, Durchtrittsöffnung (3) zur Begrenzung des von einem Plasmagas unter einem Druck von wenigstens 0,01 bar, vorzugsweise zwischen 0,1 und 5 bar, gebildeten Plasmas (17) angeordnet ist und dass die lichte Weite der Durchtrittsöffnung (4) der Elektroden (1) wenigstens das Zweifache, insbesondere etwa das Vier- bis Achtfache, der lichten Weite der Durchtrittsöffnung (3) im Isolator (2) zur Begrenzung des Plasmas (17) beträgt.
(EN)The invention relates to a device for producing RF/HF induced low-energy plasma (17), in particular noble gas plasma, comprising a generator and a supply element for the plasma gas. The invention provides for the generator to be coupled in a known manner to two particularly ring- or disk-shaped two parallel, interspaced electrodes (1), each having at least one through-opening, and for at least one isolator (2) to be positioned between said electrodes (1), said isolator having at least one particularly circular through-opening (3) assigned to the through-opening of the electrode, whose through-opening (3) is designed to confine the plasma (17) formed by a plasma gas at a pressure of at least 0.01 bars but preferably between 0.1 and 5 bars. The inside diameter of the through-opening (4) of the electrodes (1) is at least double but especially approximately four to eight times that of the inside diameter of the through-opening (3) in the isolator (2) for confining the plasma (17).
(FR)L'invention concerne un dispositif pour produire un plasma (17), de faible énergie, induit par des radiofréquences/hautes fréquences, notamment un plasma à gaz noble, ledit dispositif comportant un générateur et une alimentation pour le gaz plasma. Selon l'invention, il est prévu que le générateur soit raccordé, de façon connue en soi, à deux électrodes (1), en particulier annulaires ou en forme de disque, placées parallèlement à distance l'une de l'autre, comportant chacune au moins une ouverture de passage. De plus, au moins un isolateur (2) est placé entre les électrodes (1) et comporte au moins une ouverture de passage, notamment en forme de disque, pour délimiter le plasma (17) formé par un gaz présentant une pression d'au moins 0,01 bar, de préférence de 0,1 à 5 bars. En outre, le diamètre intérieur de l'ouverture de passage (4) des électrodes (1) est au moins égal à deux fois, notamment quatre à huit fois, le diamètre intérieur de l'ouverture de passage (3) dans l'isolateur (2), servant à délimiter le plasma (17).
États désignés : AL, AU, BG, BR, CA, CN, CU, CZ, EE, HU, ID, IL, IS, JP, KR, LT, LV, MX, NO, NZ, PL, RO, RU, SG, SI, SK, TR, US, VN, YU.
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)