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1. (WO1998039801) CONDENSATEURS FERROELECTRIQUES A COUCHES MINCES A CONSERVATION AMELIOREE DE L'INFORMATION EN MEMOIRE PAR L'UTILISATION DE STRUCTURES D'ELECTRODES DE DESSOUS ESSENTIELLEMENT MINCES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/039801    N° de la demande internationale :    PCT/IB1998/000515
Date de publication : 11.09.1998 Date de dépôt international : 03.03.1998
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/768 (2006.01), H01L 27/115 (2006.01)
Déposants : SYMETRIX CORPORATION [US/US]; 5055 Mark Dabling Boulevard, Colorado Springs, CO 80918 (US).
MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION [JP/JP]; 1-1, Saiwaicho, Takatsuki, Osaka 569 (JP)
Inventeurs : HAYASHI, Shinichiro; (JP).
OTSUKI, Tatsuo; (JP)
Mandataire : FOREST, Carl, A.; Duft, Graziano & Forest, P.C., Suite 140, 1790 - 30th Street, Boulder, CO 80301-1018 (US)
Données relatives à la priorité :
08/810,538 03.03.1997 US
Titre (EN) THIN FILM FERROELECTRIC CAPACITORS HAVING IMPROVED MEMORY RETENTION THROUGH THE USE OF ESSENTIALLY SMOOTH BOTTOM ELECTRODE STRUCTURES
(FR) CONDENSATEURS FERROELECTRIQUES A COUCHES MINCES A CONSERVATION AMELIOREE DE L'INFORMATION EN MEMOIRE PAR L'UTILISATION DE STRUCTURES D'ELECTRODES DE DESSOUS ESSENTIELLEMENT MINCES
Abrégé : front page image
(EN)A ferroelectric thin film capacitor (400) has smooth electrodes (412, 420) permitting comparatively stronger polarization, less fatigue, and less imprint, as the ferroelectric capacitor ages. The smooth electrode surfaces (414, 428) are produced by carefully controlled drying, soft baking, and annealing conditions.
(FR)Un condensateur (400) à couches minces ferroélectriques présente des électrodes lisses (412, 420) permettant comparativement une polarisation plus forte, moins de fatigue et moins d'empreinte à mesure que le condensateur ferroélectrique vieillit. On produit les surfaces (414, 428) d'électrodes lisses dans des conditions de séchage, de cuisson et de recuit doux soigneusement régulées.
États désignés : AU, CA, CN, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)