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1. (WO1998039270) TRANCHE DE CARBURE DE SILICIUM PRESSEE A CHAUD ET PROCEDE D'UTILISATION D'UNE TELLE TRANCHE COMME TRANCHE FACTICE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/039270    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/003831
Date de publication : 11.09.1998 Date de dépôt international : 27.02.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    29.07.1998    
CIB :
C04B 35/575 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : SAINT-GOBAIN INDUSTRIAL CERAMICS, INC. [US/US]; 1 New Bond Street, Box Number 15138, Worcester, MA 01615-0138 (US) (Tous Sauf US).
HOLMES, Thomas, M. [US/US]; (US) (US Seulement).
TOMANOVICH, John, A. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HOLMES, Thomas, M.; (US).
TOMANOVICH, John, A.; (US)
Mandataire : DI MAURO, Thomas, M.; Saint-Gobain Corporation, 1 New Bond Street, P.O. Box 15138, Worcester, MA 01615-0138 (US)
Données relatives à la priorité :
08/805,843 03.03.1997 US
Titre (EN) HOT PRESSED SILICON CARBIDE WAFER AND METHOD OF USING IT AS A DUMMY WAFER
(FR) TRANCHE DE CARBURE DE SILICIUM PRESSEE A CHAUD ET PROCEDE D'UTILISATION D'UNE TELLE TRANCHE COMME TRANCHE FACTICE
Abrégé : front page image
(EN)This invention relates to hot pressed silicon carbide dummy wafers having low iron impurity levels, and a method of using hot pressed silicon carbide dummy wafers in silicon wafer processing applications.
(FR)Cette invention se rapporte à des tranches factices de carbure de silicium pressées à chaud présentant de faibles teneurs en impuretés de fer, et à un procédé d'utilisation de ces tranches factices de carbure de silicium pressées à chaud dans des applications de traitement de tranches de silicium.
États désignés : AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, GW, HU, ID, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)