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1. (WO1998038549) PROCEDE DE CORRECTION DE LA PROXIMITE OPTIQUE D'ENTITES A PAS INTERMEDIAIRE A L'AIDE DE BARRES DE DIFFUSION INFRA-RESOLUTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/038549    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/002100
Date de publication : 03.09.1998 Date de dépôt international : 20.02.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    15.07.1998    
CIB :
G03F 1/00 (2012.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : ASM LITHOGRAPHY HOLDING N.V. [NL/NL]; De Run 1110, NL-5503 LA Veldhoven (NL)
Inventeurs : CHEN, Jang, Fung; (US).
WAMPLER, Kurt, E.; (US).
LAIDIG, Thomas, L.; (US)
Mandataire : PETERSON, James, W.; Burns, Doane, Swecker & Mathis, L.L.P., P.O. Box 1404, Alexandria, VA 22313-1404 (US)
Données relatives à la priorité :
08/808,587 28.02.1997 US
Titre (EN) OPTICAL PROXIMITY CORRECTION METHOD FOR INTERMEDIATE-PITCH FEATURES USING SUB-RESOLUTION SCATTERING BARS
(FR) PROCEDE DE CORRECTION DE LA PROXIMITE OPTIQUE D'ENTITES A PAS INTERMEDIAIRE A L'AIDE DE BARRES DE DIFFUSION INFRA-RESOLUTION
Abrégé : front page image
(EN)A method for providing scattering bars for optical proximity effect correction on a mask used in a lithographic process. Scattering bar spacing and characteristics are adjusted and varied along with primary feature edge location in order to control CD's of features that are spaced a distance greater than the minimum pitch of a lithographic process but less than a nominal distance for two feature edges having independent scattering bars.
(FR)L'invention porte sur un procédé de mise en place sur un masque utilisé en lithographie de barres de diffusion destinées à corriger les effets optiques de proximité. L'espacement et les caractéristiques des barres sont ajustées et modifiées en même temps que la position du bord des entités primaires de manière à contrôler les dimensions critiques des entités espacées d'une distance supérieure au pas minimal du processus lithographique, mais inférieure à la distance nominale de deux bords d'entités présentant des barres de diffusion indépendantes.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)