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1. (WO1998037627) GENERATEUR RADIOFREQUENCE A SORTIE PARALLELE, ALIMENTE EN SERIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/037627    N° de la demande internationale :    PCT/US1998/003564
Date de publication : 27.08.1998 Date de dépôt international : 24.02.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    21.09.1998    
CIB :
H03F 3/21 (2006.01), H03F 3/217 (2006.01), H03F 3/72 (2006.01)
Déposants : ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. [US/US]; 1625 Sharp Point Drive, Fort Collins, CO 80525 (US) (Tous Sauf US).
LEDENEV, Anatoli V. [RU/US]; (US) (US Seulement).
GUROV, Gennady G. [RU/US]; (US) (US Seulement).
PORTER, Robert, M., Jr. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LEDENEV, Anatoli V.; (US).
GUROV, Gennady G.; (US).
PORTER, Robert, M., Jr.; (US)
Mandataire : SANTANGELO, Luke; Santangelo Law Offices, P.C., 3rd floor, 125 South Howes, Fort Collins, CO 80521 (US)
Données relatives à la priorité :
08/805,608 24.02.1997 US
Titre (EN) SERIES POWERED, PARALLEL OUTPUT RADIO FREQUENCY GENERATOR
(FR) GENERATEUR RADIOFREQUENCE A SORTIE PARALLELE, ALIMENTE EN SERIE
Abrégé : front page image
(EN)A high power radio frequency power method of amplification is described in which a variety of amplifiers (60 and 86) may be used to reduce the stress any one amplifier experiences. The power leads (64 and 65) may be arranged in a series to power each amplifier at potentials which are lower than the total potential. Outputs (63) may then be connected in a parallel fashion to combine the power output by the system. A variety of unique stabilization, drive, division, combination, and supply configurations are presented as well as the possibility of utilization and adaptation of the designs for a plasma processing system. An aspect of tiered combining is included such as may be especially appropriate for larger numbers of devices which may include switchmode amplifiers and the like.
(FR)L'invention concerne un procédé d'amplification d'une puissance radiofréquence haute puissance, dans lequel plusieurs amplificateurs (60 et 86) peuvent être utilisés pour réduire la contrainte de n'importe quel amplificateur. Des conducteurs d'alimentation (64 et 65) peuvent être montés en série pour alimenter chaque amplificateur à des potentiels inférieurs au potentiel total. Les sorties (63) peuvent alors être connectées en parallèle pour combiner la puissance de sortie du système. L'invention décrit plusieurs configurations de stabilisation, entraînement, division, combinaison et alimentation uniques ainsi que la possibilité d'utilisation et d'adaptation des modèles dans un système de traitement au plasma. Un aspect de combinaison à gradins peut être spécialement approprié pour un plus grand nombre de dispositifs, pouvant comprendre des amplificateurs à découpage et d'autres dispositifs similaires.
États désignés : JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)