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1. (WO1998037425) ELEMENT DETECTEUR D'ACCELERATION ET SON PROCEDE DE PRODUCTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/037425    N° de la demande internationale :    PCT/JP1997/003811
Date de publication : 27.08.1998 Date de dépôt international : 22.10.1997
CIB :
G01P 15/08 (2006.01), G01P 15/12 (2006.01), G01P 15/125 (2006.01), G01P 15/18 (2013.01)
Déposants : MATSUSHITA ELECTRIC WORKS, LTD. [JP/JP]; 1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 571 (JP) (Tous Sauf US).
YOSHIDA, Hitoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TOMONARI, Shigeaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OKA, Naomasa [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
NAKAMURA, Takuro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ISHIDA, Takuro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KAMAKURA, Masanao [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KASANO, Fumihiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YOSHIDA, Hitoshi; (JP).
TOMONARI, Shigeaki; (JP).
OKA, Naomasa; (JP).
NAKAMURA, Takuro; (JP).
ISHIDA, Takuro; (JP).
KAMAKURA, Masanao; (JP).
KASANO, Fumihiro; (JP)
Mandataire : AOYAMA, Tamotsu; Aoyama & Partners, IMP Building, 3-7, Shiromi 1-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 540 (JP)
Données relatives à la priorité :
9/37271 21.02.1997 JP
9/204269 30.07.1997 JP
9/234114 29.08.1997 JP
9/234116 29.08.1997 JP
Titre (EN) ACCELERATION SENSOR ELEMENT AND METHOD OF ITS MANUFACTURE
(FR) ELEMENT DETECTEUR D'ACCELERATION ET SON PROCEDE DE PRODUCTION
Abrégé : front page image
(EN)A flexure transducer which is used for the detection of an applied acceleration comprising (1) a frame having an upper surface and a lower surface, (2) a sheet member which has a plurality of flexible parts and a center part and whose flexible parts are extended between at least a part of the inner edge of the frame and the center part and are integrally continuous with them, (3) a weight which has a neck part integrally connected to the center part of the sheet member and is hung from the sheet member through the neck part and (4) a support member which supports the lower surface of the frame and whose inner surface faces the side surface of the weight with a first gap therebetween, a second gap being continuous with the first gap, and defined between the flexible parts of the sheet member and the weight, a third gap being defined between the frame and the sheet member and/or inside the sheet member, the frame and the sheet member being joined to each other and the sheet member and the weight being joined to each other in such a manner that, when an acceleration is applied to the transducer, at least two flexible parts are elastically deformed and, as a result, the weight is displaced relatively to the frame, the weight and the support member being formed of a semiconductor substrate, the 2nd gap being formed by removing a sacrifice layer which is provided in the semiconductor substrate and the frame and the sheet member comprising epitaxial layers provided on the semiconductor substrate.
(FR)L'invention concerne un transducteur à flexion utilisé pour la détection d'une accélération appliquée, comprenant: (1) un cadre présentant une surface supérieure et une surface inférieure, (2) une feuille présentant une pluralité de parties flexibles et une partie centrale, les parties flexibles s'étendant entre au moins une partie du bord intérieur du cadre et la partie centrale, et étant reliées sans interruption audit bord et à ladite partie centrale, (3) un poids présentant une partie col reliée sans interruption à la partie centrale de la feuille, et accroché à ladite feuille par ladite partie col, et (4) un élément qui supporte la surface inférieure du cadre et dont la surface intérieure fait face à la surface latérale du poids avec un premier espace entre les deux. Un deuxième espace est relié sans interruption au premier espace, et défini entre les parties flexibles de la feuille et du poids. Un troisième espace est défini entre le cadre et la feuille et/ou à l'intérieur de la feuille. Le cadre et la feuille sont reliés l'un à l'autre et la feuille et le poids sont reliés l'un à l'autre de sorte que, lorsqu'une accélération est appliquée au transducteur, au moins deux parties flexibles sont déformées élastiquement et, par conséquent, le poids est déplacé par rapport au cadre. Le poids et l'élément support sont formés par un substrat semiconducteur. Le deuxième espace est formé par retrait d'une couche sacrificielle située dans le substrat semiconducteur. Le cadre et la feuille comprennent des couches épitaxiales prévues sur le substrat semiconducteur.
États désignés : AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, HU, ID, IL, IS, KE, KG, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)