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1. (WO1998037257) BLOC D'ALIMENTATION POUR DISPOSITIF DE PULVERISATION CATHODIQUE

Pub. No.:    WO/1998/037257    International Application No.:    PCT/JP1998/000693
Publication Date: 27 août 1998 International Filing Date: 19 févr. 1998
IPC: C23C 14/34
C23C 14/54
H01J 37/34
Applicants: SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION

KURIYAMA, Noboru

YATSU, Yutaka

KAWAMATA, Yoshio

FUJII, Takashi

Inventors: KURIYAMA, Noboru

YATSU, Yutaka

KAWAMATA, Yoshio

FUJII, Takashi

Title: BLOC D'ALIMENTATION POUR DISPOSITIF DE PULVERISATION CATHODIQUE
Abstract:
Dans un circuit destiné à éviter la formation d'une décharge d'arc par application d'une impulsion en tension inverse, une fois l'impulsion envoyée, on applique à la source de pulvérisation cathodique une tension inverse produite par un organe de génération de tension inverse (12) de l'ordre de 1-10 νs dans le cas où la production de décharge d'arc est détectée par un capteur prévu à cet effet (23), ce qui abaisse les probabilités de production de décharge d'arc en continu. En même temps, une diode (D10) et une résistance (r10) limitent le courant lors de l'application de la tension inverse, laquelle diode est montée en série à la source de pulvérisation cathodique (14), la résistance (r10) étant monté en parallèle avec la diode (D10), ce qui a pour effet de réduire la décharge d'arc en continu occasionnée par une décharge d'arc inverse.