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1. (WO1998035379) JET DE PLASMA A PRESSION ATMOSPHERIQUE

Pub. No.:    WO/1998/035379    International Application No.:    PCT/US1998/001269
Publication Date: 13 août 1998 International Filing Date: 23 janv. 1998
IPC: H01J 37/32
H05H 1/24
Applicants: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
SELWYN, Gary, S.
Inventors: SELWYN, Gary, S.
Title: JET DE PLASMA A PRESSION ATMOSPHERIQUE
Abstract:
La présente invention concerne un jet de plasma (18) à pression atmosphérique. L'invention se rapporte à une décharge de plasma en mode η, à cavité résonante, qui peut s'effectuer à pression atmosphérique et sous une température proche de la température ambiante pour un rayonnement HF à 13.56 MHz. A l'inverse des chalumeaux à plasma, la décharge produit un effluent en phase gazeuse d'une température de 250 °C maximum pour une puissance appliquée d'environ 300 W, et présente des caractéristiques non thermiques marquées. Dans la conception la plus simple de la présente invention, deux électrodes cylindriques concentriques (14, 20) sont utilisées pour produire un plasma dans la région annulaire comprise entre les deux électrodes. Ces électrodes produisent un jet d'espèces métastables et réactives (22) de longue période qui sont capables de nettoyer ou attaquer rapidement des métaux ou d'autres matières, lequel jet s'étend jusqu'à 8 pouces au-delà de l'extrémité ouverte des électrodes (14, 20). Ces espèces peuvent également éliminer les films et les revêtements. On empêche la formation d'arcs électriques dans l'appareil en utilisant des mélanges de gaz contenant du He, qui limite l'ionisation, en utilisant des vitesses d'écoulement élevées, et en conférant une forme appropriée à l'électrode HF (14). Etant donné que l'opération est effectuée à pression atmosphérique, aucun ion ne survit sur une distance suffisamment longue au-delà de la décharge de plasma actif pour aller bombarder une pièce, contrairement à ce qui se passe avec les sources de plasma à basse pression et les plasmas traditionnels.