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1. (WO1998027247) RECIPIENT D'ALIMENTATION EN REACTIF POUR LE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/027247    N° de la demande internationale :    PCT/US1997/023304
Date de publication : 25.06.1998 Date de dépôt international : 17.12.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.07.1998    
CIB :
B01J 4/00 (2006.01), C23C 16/448 (2006.01)
Déposants : ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. [US/US]; 7 Commerce Drive, Danbury, CT 06810 (US)
Inventeurs : BOUCHARD, Fred; (US)
Mandataire : HULTQUIST, Steven, J.; Intellectual Property/Technology Law, P.O. Box 14329, Research Triangle Park, NC 27709 (US)
Données relatives à la priorité :
60/033,865 17.12.1996 US
Titre (EN) REAGENT SUPPLY VESSEL FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
(FR) RECIPIENT D'ALIMENTATION EN REACTIF POUR LE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
Abrégé : front page image
(EN)A liquid reagent dispensing assembly (10), comprising a gas-pressurizable vessel (12) including a floor (18), and an interior volume (20) bounded by interior wall (14) and floor (34) surfaces. A dip-tube liquid discharge conduit (42) is employed for discharging liquid from the gas-pressurized vessel. The vessel is provided with a liquid level sensor (48) for sensing liquid reagent level in the vessel interior volume. The floor of the vessel has a cavity (28) therein extending downwardly from the surface of the floor, and the lower end (46) of the dip-tube is positioned in the cavity. The dispensing assembly of the invention may usefully be employed for dispensing of reagents such as precursors for deposition of materials in the manufacture of semiconductor materials and devices, and achieves a high level of withdrawal of the reagent liquid from the vessel.
(FR)Ensemble de distribution de réactif liquide (10), comprenant un récipient (12) pouvant mis sous pression de gaz et présentant un plancher (18), un volume intérieur (20) délimité par une paroi intérieure (14) et les surfaces (34) du plancher. Un conduit de décharge de liquide (42) à tube plongeur est utilisé pour la décharge de liquide depuis le récipient sous pression de gaz. Le récipient est doté d'un nivellomètre (48) qui mesure le niveau de réactif liquide dans le volume intérieur du récipient. Le plancher du récipient contient une cavité (28) s'étendant vers le bas depuis la surface du plancher, et l'extrémité inférieure (46) du tube plongeur est placée dans la cavité. L'ensemble de distribution peut être utile pour la distribution de réactifs tels que des précurseurs pour le dépôt de matériaux dans la fabrication de dispositifs et de matériaux semi-conducteurs, et permet un niveau de retrait élevé de liquide réactif du récipient.
États désignés : DK, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)