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1. (WO1998026444) DISPOSITIF A DEPLACEMENT LINEAIRE COMPATIBLE AVEC LE VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/026444    N° de la demande internationale :    PCT/US1997/022133
Date de publication : 18.06.1998 Date de dépôt international : 10.12.1997
CIB :
F16C 29/02 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01)
Déposants : ETEC SYSTEMS, INC. [US/US]; 26460 Corporate Avenue, Hayward, CA 94545 (US)
Inventeurs : TROST, David; (US).
VENEKLASEN, Lee; (US)
Mandataire : KLIVANS, Norman, R.; Skjerven, Morrill, MacPherson, Franklin & Friel LLP, Suite 700, 25 Metro Drive, San Jose, CA 95110 (US)
Données relatives à la priorité :
08/766,271 13.12.1996 US
Titre (EN) VACUUM COMPATIBLE LINEAR MOTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF A DEPLACEMENT LINEAIRE COMPATIBLE AVEC LE VIDE
Abrégé : front page image
(EN)A vacuum compatible linear motion device having a fluid bearing is contained within a vacuum chamber having a working pressure of significantly less than one atmosphere. The fluid bearing is contained within a vacuum enclosure within the vacuum chamber and is maintained at a pressure higher than that of the vacuum chamber but less than one atmosphere, thus esentially isolating the fluid bearing. A moveable payload is coupled to the linear motion device such that linear motion in the direction of the long axis of the device is provided to the moveable payload.
(FR)Un dispositif à déplacement linéaire compatible avec le vide ayant un palier fluide est placé dans une chambre à vide ayant une pression d'utilisation de sensiblement moins d'une atmosphère. Le palier fluide est placé dans une enceinte sous vide située à l'intérieur de la chambre à vide et est maintenu à une pression supérieure à celle de la chambre à vide et inférieure à une atmosphère, ce qui permet d'isoler essentiellement le palier fluide. Une charge utile mobile est accouplée au dispositif à déplacement linéaire de sorte qu'elle se déplace linéairement dans le sens de l'axe long du dispositif.
États désignés : CA, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)