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1. (WO1998026267) PROCEDE SERVANT A DETERMINER L'ETAT DEFECTUEUX D'UN CAPTEUR DE PRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/026267    N° de la demande internationale :    PCT/JP1997/001627
Date de publication : 18.06.1998 Date de dépôt international : 14.05.1997
CIB :
G01L 27/00 (2006.01), G01M 3/40 (2006.01)
Déposants : HOKKEI INDUSTRIES L.T.D. [JP/JP]; 4-20, Masuizumi 3-chome, Kanazawa-shi, Ishikawa 921 (JP) (Tous Sauf US).
MATSUI, Toshihisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MATSUI, Tomio [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
UEDA, Masahiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IRISA, Atsuo [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MATSUI, Toshihisa; (JP).
MATSUI, Tomio; (JP).
UEDA, Masahiro; (JP).
IRISA, Atsuo; (JP)
Mandataire : KOBAYASHI, Toshio; Sanno Grand Building, Suite 403, 14-2, Nagata-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100 (JP)
Données relatives à la priorité :
PCT/JP96/03601 09.12.1996 JP
Titre (EN) METHOD OF DETERMINING A DEFECTIVE PRESSURE SENSOR
(FR) PROCEDE SERVANT A DETERMINER L'ETAT DEFECTUEUX D'UN CAPTEUR DE PRESSION
Abrégé : front page image
(EN)A method of determining a defective strain gauge-type pressure sensor based upon leakage of vacuum. After the sensor is left in the air for a predetermined period of time, a resistor (7) is interposed between the positive electrode of the power source (8) and a terminal (2a), the resistor (7) having such a selected high resistance that an IC circuit (5) in a metal container will not be destroyed by a discharge current. The positive electrode of the power source (8) is connected to the terminal (2a) at which all the electrode pins (2) of a pressure sensor are short-circuited, the metal container (6) is grounded, and a high DC voltage is applied between the terminal (2a) and the metal container (6). The application of high DC voltage of the power source (8) is controlled by a computer (13), the voltage is slowly varied when it is to be applied, and the application of voltage is turned off upon a discharge of a pulse. A vacuum pressure in the metal container (6) is measured from a discharge current Id of a pulse based on the Paschen's law. When the thus measured pressure in the sensor is larger than a predetermined value, the metal container (6) is introduced into a container (30) filled with a He gas. After the passage of a predetermined period of time, measurement is taken in the same manner to find an average pressure change rate. When the pressure change rate is larger than a predetermined value, it is regarded that vacuum is leaking, and the sensor is determined to be defective.
(FR)Procédé servant à déterminer l'état défectueux d'un capteur de pression, tel qu'un capteur de contrainte, en fonction de la fuite du vide. Après avoir laissé le capteur à l'air pendant une durée prédéterminée, on intercale une résistance (7) entre l'électrode positive de la source d'énergie (8) et une borne (2a), cette résistance (7) présentant une résistance sélectionnée élevée, de telle façon qu'un courant de décharge ne détruira pas un circuit intégré (5) placé dans un réservoir en métal. On relie l'électrode positive de la source d'énergie (8) à la borne (2a) à laquelle sont reliées toutes les broches d'électrode (2) du capteur de pression, on met à la masse le réservoir en métal (6) et on applique une tension élevée de courant continu entre la borne (2a) et ledit réservoir (6). On commande l'application de cette tension élevée de courant continu de la source d'énergie (8) au moyen d'un ordinateur (13), on fait varier lentement cette tension au moment de son application et on arrête cette dernière au moment de la décharge d'une impulsion. On mesure une pression vacuométrique dans le réservoir en métal (6) à partir d'un courant de décharge Id d'une impulsion en fonction de la loi de Paschen. Quand la pression mesurée de cette façon dans le capteur est supérieure à une valeur prédéterminée, on introduit le réservoir en métal (6) dans un autre réservoir (30) rempli d'un gaz He. Après l'écoulement d'une période prédéterminée, on effectue des mesures similaires afin de trouver un taux moyen de modification de pression. Quand ce taux de modification de pression est supérieur à une valeur prédéterminée, on considère que le vide fuit et on détermine que le capteur est défectueux.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)